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J-GLOBAL ID:200903038797444297
多元系フッ化物単結晶およびその作製方法
Inventor:
,
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
後藤 洋介 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001317193
Publication number (International publication number):2003119096
Application date: Oct. 15, 2001
Publication date: Apr. 23, 2003
Summary:
【要約】【課題】 熱歪みあるいはクラック等のない多元系フッ化物単結晶を作製する作成方法を提供すること。【解決手段】 下部るつぼ部品5とこの上に重ねた上部るつぼ部品1とを有するるつぼを使用する。上部るつぼ部品の底には少なくとも1個の小径の穴3を明ける。るつぼ内に投入する原料の量を、原料を溶融させた時の融液が上部るつぼ部品に10〜50%入る程度に規制しつつ、ブリッジマン育成を行なう。こうして、発生する白濁物質2を上部るつぼ部品に集める。
Claim (excerpt):
下部るつぼ部品とこの上に重ねた上部るつぼ部品とを有しかつ前記上部るつぼ部品の底に少なくとも1個の小径の穴を明けてなるるつぼを用意し、前記るつぼ内に投入する原料の量を、原料を溶融させた時の融液が前記上部るつぼ部品に10〜50%入る程度に規制しつつ、ブリッジマン育成を行なうことで、発生する白濁物質を前記上部るつぼ部品に集め、これにより熱膨張率差に起因する状態を低減した多元系フッ化物単結晶を得ることを特徴とする多元系フッ化物単結晶作製方法。
IPC (2):
FI (2):
C30B 29/12
, C30B 11/00 C
F-Term (7):
4G077AA02
, 4G077BE02
, 4G077CD02
, 4G077EC05
, 4G077EG01
, 4G077HA01
, 4G077MB04
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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単結晶の製造方法及び結晶育成るつぼ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-359249
Applicant:日本結晶光学株式会社
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結晶作製装置及び結晶作製方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-051070
Applicant:キヤノン株式会社
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特開平3-257034
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フッ化物結晶の製造装置及び製造法並びにルツボ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-063952
Applicant:キヤノン株式会社
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結晶物品の製造方法及び製造装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-000749
Applicant:株式会社オプトロン, キヤノン株式会社
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