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J-GLOBAL ID:200903065419386146
磁気記録媒体用ガラス基板の研磨方法、磁気記録媒体用ガラス基板、及び磁気記録媒体用ガラス基板の研磨装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
三澤 正義
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007118569
Publication number (International publication number):2008273777
Application date: Apr. 27, 2007
Publication date: Nov. 13, 2008
Summary:
【課題】ブラシ傷が少ない端面を形成しつつ、端面の研磨に要する時間を短縮することが可能な磁気記録媒体用ガラス基板の研磨方法を提供する。【解決手段】中央部に貫通孔が形成された磁気記録媒体用ガラス基板の端面を研磨する場合に、外周端面の研磨工程を第1研磨工程と第2研磨工程に分け、第1研磨工程と第2研磨工程の研磨条件を変える。第1研磨工程では、第2研磨工程よりも剛性が高い研磨ブラシを用いて端面を研磨する。また、第2研磨工程では、第1研磨工程よりも粒径が小さい研磨材を供給して端面を研磨する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
表面及び前記表面の周囲に端面を有する円板状のガラス基板の前記端面を研磨する磁気記録媒体用ガラス基板の研磨方法であって、
第1の研磨条件で前記端面を研磨する第1の研磨工程と、
前記第1の研磨工程の後、前記第1の研磨条件と異なる第2の研磨条件で前記端面を研磨する第2の研磨工程と、
を含むことを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の研磨方法。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (7):
4G059AA08
, 4G059AC03
, 4G059AC24
, 5D112AA02
, 5D112AA24
, 5D112BA03
, 5D112GA10
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (4)