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J-GLOBAL ID:200903065602731235
平面セラミック膜アセンブリ
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (5):
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 永坂 友康
, 西山 雅也
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004080652
Publication number (International publication number):2004283826
Application date: Mar. 19, 2004
Publication date: Oct. 14, 2004
Summary:
【課題】 大きな圧力差に耐えながら局所的な高温箇所の発生を回避することもできる、特にセラミック膜反応器として利用可能な、平面セラミック膜アセンブリと、これを使用するセラミックウエハアセンブリを提供すること。【解決手段】 第一の側と第二の側とを有する複合伝導多成分金属酸化物材料の緻密層1を含み、複合伝導多成分金属酸化物材料の多孔質支持体層3が緻密層1の第一の側と接触し、流路を形成したセラミックの支持体層5が緻密層1の第二の側と接触している平面セラミック膜アセンブリとする。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
複合伝導多成分金属酸化物材料の緻密層を含む平面セラミック膜アセンブリであって、緻密層が第一の側と第二の側とを有し、複合伝導多成分金属酸化物材料の多孔質層が緻密層の第一の側と接触し、流路を形成したセラミックの支持体層が緻密層の第二の側と接触している平面セラミック膜アセンブリ。
IPC (5):
B01D71/02
, B01D53/22
, B01D63/08
, B01D69/10
, C04B37/00
FI (5):
B01D71/02 500
, B01D53/22
, B01D63/08
, B01D69/10
, C04B37/00 A
F-Term (31):
4D006GA41
, 4D006HA41
, 4D006HA42
, 4D006JA03B
, 4D006JA03C
, 4D006JA05A
, 4D006JA06A
, 4D006KA31
, 4D006KB30
, 4D006MA03
, 4D006MA06
, 4D006MA31
, 4D006MA40
, 4D006MB20
, 4D006MC02X
, 4D006MC03X
, 4D006NA39
, 4D006NA46
, 4D006NA50
, 4D006NA63
, 4D006PA10
, 4D006PB62
, 4D006PB68
, 4D006PC69
, 4G026BA02
, 4G026BB02
, 4G026BF04
, 4G026BF42
, 4G026BF46
, 4G026BG22
, 4G026BH13
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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