被検査体の検査装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：森下賢樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009013146
Publication number (International publication number)：2009156872
Application date： Jan. 23, 2009
Publication date： Jul. 16, 2009
Summary：

【課題】被検査体のコーティングを精度よく検査する。【解決手段】コーティング検査装置10は、紫外光を受けた基板1のコーティングを受けた被検査体からの蛍光を受光して、各々が異なる色成分に分解された複数の画像を生成する。コーティング検査装置10は、生成した画像のうち少なくとも1つに基づいて基板1のコーティングを検査する。コーティング検査装置10は、検査区域ごとに、色分解された複数の画像のいずれかを選択して検査してもよい。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

紫外光を受けて蛍光を発するコーティングで表面の少なくとも一部が被覆された被検査体の検査装置であって、紫外光源と、紫外光を受けた被検査体からの蛍光を受光して、各々が異なる色成分に分解された複数の画像を生成する撮像部と、前記撮像部が生成した画像のうち少なくとも1つに基づいて被検査体のコーティングを検査する検査部と、を備えることを特徴とする検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/88 , G01B 11/30

FI (2)：

G01N21/88 K , G01B11/30 Z

F-Term (50)：

2F065AA30 , 2F065AA49 , 2F065BB01 , 2F065BB27 , 2F065CC01 , 2F065DD04 , 2F065EE03 , 2F065EE09 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065FF61 , 2F065GG07 , 2F065GG09 , 2F065GG14 , 2F065GG21 , 2F065GG23 , 2F065GG24 , 2F065JJ02 , 2F065JJ05 , 2F065JJ25 , 2F065LL12 , 2F065LL22 , 2F065MM07 , 2F065NN02 , 2F065PP02 , 2F065PP15 , 2F065QQ08 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ32 , 2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051AB07 , 2G051AB12 , 2G051AC21 , 2G051BA02 , 2G051BA05 , 2G051BA08 , 2G051BB02 , 2G051CA03 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051CB10 , 2G051DA06 , 2G051EA11 , 2G051EA16 , 2G051EA17 , 2G051EA25 , 2G051EC01 , 2G051EC03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

プラズマディスプレイ蛍光体検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-315528 Applicant：松下電器産業株式会社
蛍光体の印刷ずれ検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-191349 Applicant：株式会社日立国際電気
粉体の目付測定方法および測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-052447 Applicant：東レ株式会社

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