表面欠陥検査装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：北村修一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004376401
Publication number (International publication number)：2005315841
Application date： Dec. 27, 2004
Publication date： Nov. 10, 2005
Summary：

【課題】所定のレイアウトパターンで配置された複数の発光素子からなる照射系と、その照射系から照明される照射光を受けた被検査面を撮像する撮像カメラとを備える表面欠陥検査装置において、照射系と撮像系との構成が最も合理的かつシンプルであり、信頼性の高い検査を行うことが可能なものを得る。【解決手段】レイアウトパターンが発光素子30を内側に所定形状の暗面を残すように連続的に配置させたものであり、少なくとも1つの暗面31に撮像カメラ4が被検査面から反射される各発光素子30の照射光を受光するように配置する。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

所定のレイアウトパターンで配置された複数の発光素子と、前記発光素子の照射光によって照明された被検査面を撮像する撮像カメラと、前記撮像カメラの撮像情報を出力する出力部を備えた表面欠陥検査装置であって、前記レイアウトパターンが前記発光素子を内側に所定形状の暗面を残すように連続的に配置させたものであり、少なくとも1つの前記暗面に前記撮像カメラが前記被検査面から反射される前記各発光素子の照射光を受光するように配置されている表面欠陥検査装置。

IPC (2)：

G01N21/88 , G01B11/30

FI (2)：

G01N21/88 Z , G01B11/30 A

F-Term (37)：

2F065AA01 , 2F065AA37 , 2F065AA49 , 2F065AA58 , 2F065AA61 , 2F065BB05 , 2F065CC00 , 2F065CC11 , 2F065FF04 , 2F065FF42 , 2F065GG07 , 2F065GG15 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065MM23 , 2F065PP25 , 2F065QQ04 , 2F065QQ23 , 2F065QQ32 , 2F065QQ33 , 2F065QQ42 , 2F065QQ43 , 2F065SS03 , 2G051AA88 , 2G051AB07 , 2G051AB12 , 2G051BA02 , 2G051BB07 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051DA01 , 2G051DA05 , 2G051EA11 , 2G051EB01 , 2G051ED01 , 2G051ED09

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

被検査面の欠陥検査方法およびその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-025090 Applicant：日産自動車株式会社
塗膜平滑性検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-287131 Applicant：日産自動車株式会社

Cited by examiner (8)

特開平2-088947
鋼片のピンホール検出方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-199848 Applicant：新日本製鐵株式会社, ニッテツ北海道制御システム株式会社
表面欠陥検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-166349 Applicant：日産自動車株式会社

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