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J-GLOBAL ID：200903065963759312

プローブカード

Inventor：
長谷川 義栄

About 長谷川 義栄


Applicant, Patent owner：
株式会社日本マイクロニクス

About 株式会社日本マイクロニクス


Agent (1)： 松永 宣行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999287073
Publication number (International publication number)：2001108708
Application date： Oct. 07, 1999
Publication date： Apr. 20, 2001
Summary：
【要約】【目的】 針先の位置を安定化させると共に、プローブの配置ピッチを小さくすること【解決手段】 プローブカードは、基板と、針先部がこれの後端に続く針主体部に対して曲げられた複数のプローブを針先がほぼ直線状の配列となる状態に基板に配置し、プローブの針先部が変位可能に貫通した複数のガイド穴を有するシート状のガイドを針主体部の下側を伸びるように基板に配置し、ガイドを配置手段により張った状態に維持している。張った状態のガイドは、吊り下げた状態のガイドに比べ、ガイド自体がプローブに対し変位し難く、したがって被検査体の電極に対するプローブの針先の位置が安定すると共に、プローブの配置ピッチを小さくすることができる。
Claim (excerpt)：
基板と、針先部がこれの後端に続く針主体部に対して曲げられた複数のプローブであって針先がほぼ直線状の配列となる状態に前記基板に配置された複数のプローブと、前記プローブの針先部が変位可能に貫通した複数のガイド穴を有しかつ前記針主体部に対し前記基板と反対側を伸びるシート状のガイドと、該ガイドを前記基板に張った状態に配置する配置手段とを含む、プローブカード。
IPC (2)：
G01R 1/073 ,  H01L 21/66
FI (2)：
G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B
F-Term (14)：
2G011AA17 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AE22 ,  4M106AA02 ,  4M106AA20 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD03 ,  4M106DD04 ,  4M106DD10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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