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J-GLOBAL ID：200903066850367147

外観検査装置

Inventor：
西田 真史

About 西田 真史

, 
添田 正彦

About 添田 正彦

, 
林 謙太

About 林 謙太


Applicant, Patent owner：
大日本印刷株式会社

About 大日本印刷株式会社


Agent (1)： 小西 淳美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997254099
Publication number (International publication number)：1999083455
Application date： Sep. 04, 1997
Publication date： Mar. 26, 1999
Summary：
【要約】【課題】 リードフレーム等の金属試料の外観検査方法において、外形不良の検出ができ、且つ、表面不良の擬似欠陥部と致命的欠陥部との判別を効率的にできる外観検査装置を提供する。【解決手段】 金属板を外形加工して作製されたリードフレーム等の金属試料に対し、形状不良と表面不良とを検査する外観検査装置であって、被検査物である金属試料の検査領域全域に対し、形状不良と表面不良とを検査する1次検査部と、被検査物である金属試料に対し、1次検査部が表面不良候補と判断した箇所のみを検査する2次検査部とを備えたもので、且つ、1次検査部の表面不良の検出は、欠陥部と擬似欠陥部とを区分けできるものでなく、表面不良候補を検出するもので、2次検査部の表面不良の検出は、欠陥部と擬似欠陥部とが区分けできるものである。
Claim (excerpt)：
金属板を外形加工して作製されたリードフレーム等の金属試料に対し、形状不良と表面不良とを検査する外観検査装置であって、被検査物である金属試料の検査領域全域に対し、形状不良と表面不良とを検査する1次検査部と、被検査物である金属試料に対し、1次検査部が表面不良候補と判断した箇所のみを検査する2次検査部とを備えたもので、且つ、1次検査部の表面不良の検出は、欠陥部と擬似欠陥部とを区分けできるものでなく、表面不良候補を検出するもので、2次検査部の表面不良の検出は、欠陥部と擬似欠陥部とが区分けできるものであることを特徴とする外観検査装置。
IPC (4)：
G01B 11/24 ,  G01J 3/46 ,  G01N 21/88 ,  H01L 23/50
FI (5)：
G01B 11/24 C ,  G01B 11/24 K ,  G01J 3/46 Z ,  G01N 21/88 Z ,  H01L 23/50 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
  • パターン欠陥検査方法および装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-039202   Applicant：株式会社日立製作所
  • 特開昭61-252653
  • リード測定方法およびリード測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-340666   Applicant：株式会社日立製作所, アキタ電子株式会社
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