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J-GLOBAL ID：200903067142640611

照明光学装置およびそれを備えた検査装置

Inventor：
大森 健雄

About 大森 健雄


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 古谷 史旺
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001353571
Publication number (International publication number)：2003156446
Application date： Nov. 19, 2001
Publication date： May. 30, 2003
Summary：
【要約】【課題】 空間的にも角度的にも均一な強度分布の照明光を射出することができる照明光学装置、およびそれを備えた検査装置を提供する。【解決手段】 光源31と、光源からの光を集光する第1光学系32と、ロッド型オプティカルインテグレータ22と、ロッド型オプティカルインテグレータからの光を集光する第2光学系23と、バンドル型ランダムライトガイド24とを順に配置する。ロッド型オプティカルインテグレータ22は、第1光学系32によって形成される光源像の形成面または該形成面と共役な面に配置された光入射面22aと、第2光学系23の前側焦点面に配置された光射出面22bとを有する。バンドル型ランダムライトガイド24は、第2光学系23によって形成される光源像の形成面または該形成面と共役な面に配置された光入射面24aと、外部に照明光を射出する光射出面24bとを有する。
Claim (excerpt)：
光源と、該光源からの光を集光する第1光学系と、ロッド型オプティカルインテグレータと、該ロッド型オプティカルインテグレータからの光を集光する第2光学系と、バンドル型ランダムライトガイドとが順に配置され、前記ロッド型オプティカルインテグレータは、前記第1光学系によって形成される前記光源の像の形成面または該形成面と共役な面に配置された光入射面と、前記第2光学系の前側焦点面に配置された光射出面とを有し、前記バンドル型ランダムライトガイドは、前記第2光学系によって形成される前記光源の像の形成面または該形成面と共役な面に配置された光入射面と、外部に照明光を射出する光射出面とを有することを特徴とする照明光学装置。
IPC (6)：
G01N 21/84 ,  F21S 2/00 ,  F21V 13/00 ,  G01N 21/956 ,  G02B 19/00 ,  F21Y101:00
FI (5)：
G01N 21/84 E ,  G01N 21/956 A ,  G02B 19/00 ,  F21Y101:00 ,  F21M 1/00 R
F-Term (24)：
2G051AA51 ,  2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051BB07 ,  2G051BB11 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CB06 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06 ,  2G051DA08 ,  2H052BA01 ,  2H052BA02 ,  2H052BA03 ,  2H052BA09 ,  2H052BA11 ,  3K042AA01 ,  3K042AC06 ,  3K042BB05 ,  3K042BE09
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (3)

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