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J-GLOBAL ID：200903067247759223

立体構造を持った微小光学系の製造方法とこれを実施した微小光学システム

Inventor：
佐々木 実

About 佐々木 実

, 
羽根一博

About 羽根一博


Applicant, Patent owner：
佐々木 実

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羽根 一博

About 羽根 一博


Agent (1)： 小沢 信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002105202
Publication number (International publication number)：2003295069
Application date： Apr. 08, 2002
Publication date： Oct. 15, 2003
Summary：
【要約】【課題】 光デバイスに特有な3次元的な深い構造と、種々のバルクデバイス素子のアセンブルし易さを両立する技術的な解決法が従来は無かった。このため、フリップチップボンディングの様にデバイス素子を基板に密着する形で配置する構成で、光が通るべき光路を確保し3次元的に素子をプリアライメントして配置できる製作技術の実現が求められている。【解決手段】 本発明は、シリコンウェーハ等の平面基板上にフォトリソグラフィ技術を用いて製作配置した素子を、基板ごと折り曲げることによって平面的な配置から立体的な配置を作り出し、自由空間型の微小光学系を構成する方法を実現することにより、問題を解決したものである。
Claim (excerpt)：
シリコンウェーハ等の平面基板上に直線状の柔らかな折り曲げ位置と複数のデバイス素子を製作した後、平面基板を折り曲げ位置で折り曲げることによって、デバイス素子を平面的な配置から立体的な配置に置き換えることにより自由空間型の立体構造を持った光学系を製造する微小光学系の製造方法。
IPC (5)：
G02B 26/00 ,  B81C 5/00 ,  G02B 26/08 ,  G02B 26/10 104 ,  H01L 27/15
FI (5)：
G02B 26/00 ,  B81C 5/00 ,  G02B 26/08 E ,  G02B 26/10 104 Z ,  H01L 27/15 H
F-Term (10)：
2H041AA05 ,  2H041AA21 ,  2H041AB14 ,  2H041AC04 ,  2H041AC06 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB73 ,  2H045DA31
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (12)
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Cited by examiner (14)
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