光学式エンコーダ

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995058456
Publication number (International publication number)：1996254440
Application date： Mar. 17, 1995
Publication date： Oct. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】被測定物体の移動量や変位量等を高分解能に検出可能なコンパクトな光学式エンコーダを提供する。【構成】図中矢印M方向に移動可能であって且つ高反射率領域12aと低反射率領域12bとが交互に一定の間隔で配置されたリニアスケール12と、このリニアスケールに対して所定角度でレーザー光を照射可能な垂直共振器型の面発光半導体レーザ11が設けられており且つリニアスケールから反射した反射光を受光するように、リニアスケールの移動方向Mに沿って所定間隔で配置された一対の光検出器13a,13bが設けられている誘電体基板14とを備える。面発光半導体レーザは、誘電体基板上に形成された傾斜台15上に搭載されており、一対の光検出器は、誘電体基板上にリニアスケールと平行に形成された平坦面14a上に搭載されている。

Claim (excerpt)：

所定方向に移動可能に構成されていると共に、反射率又は透過率の異なる領域が所定のピッチで配置されたスケールと、このスケール上に所定径のスポットを形成させる所定の発振モードの面発光半導体レーザー手段と、前記面発光半導体レーザー手段から出射されたレーザー光によって、前記スケール上に前記スポットが形成された際、前記レーザー光による前記スケールからの反射光又は透過光を受光可能に構成されていると共に、前記スケールの移動方向に沿って前記スポットの径の2倍以下のピッチで配置された光検出手段とを備えていることを特徴とする光学式エンコーダ。

IPC (3)：

G01D 5/30 , G02B 26/02 , H01L 31/0232

FI (3)：

G01D 5/30 R , G02B 26/02 B , H01L 31/02 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

半導体発光素子、ならびに当該発光素子を用いた光学検知装置、光学的情報処理装置及び発光装置。
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-218241 Applicant：オムロン株式会社
光学式変位検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-228816 Applicant：株式会社コパル
エンコーダ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-262917 Applicant：沖電気工業株式会社

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