Pat
J-GLOBAL ID:200903067542645892
半導体加速度センサ及びその製造方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
西浦 ▲嗣▼晴
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002292782
Publication number (International publication number):2004125704
Application date: Oct. 04, 2002
Publication date: Apr. 22, 2004
Summary:
【課題】半導体センサ素子の内部空間内に重錘の少なくとも一部を配置して重錘の重量を増大させても、半導体センサ素子が破損することのない半導体加速度センサを提供する。【解決手段】切頭角錐形の空間の外周面に倣うように、実質的に同形状の4つの台形状の傾斜面13...を環状に組み合わせて支持部9の内周面を構成する。重錘3は、重錘3が可撓部11側に最大限変位したときに支持部9の内周面の傾斜面13...と当接する線状の当接部3dを有するように構成する。当接部3dは重錘固定部7が位置する側から見た輪郭形状が円形になる形状を有している。支持部9の傾斜面13...と重錘3の当接部3dとにより重錘3が可撓部11側に変位する変位量の範囲を規制するストッパ構造を構成する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
中心部に重錘固定部が位置し、外周部に筒状の支持部が位置し、前記重錘固定部と前記支持部との間に可撓性を有する可撓部を備えた半導体センサ本体と、
前記可撓部に形成された拡散抵抗により構成された加速度センサ素子と、
前記重錘固定部の中心を通り前記可撓部が延びる方向と直交する方向に延びる中心線上に中心が位置するように前記重錘固定部に固定された重錘とを具備し、
前記支持部の内周面が、切頭角錐形の内部空間の外周面に倣うように、実質的に同形状の4つの台形状の傾斜面が環状に組み合わされて構成されている半導体加速度センサであって、
前記重錘は前記重錘が前記可撓部側に最大限変位したときに前記内周面を構成する4つの傾斜面と当接する線状の当接部を有しており、
前記当接部は前記重錘固定部が位置する側から見た輪郭形状が円形になる形状を有しており、
前記支持部の内周面と前記当接部とにより前記重錘が前記可撓部側に変位する変位量の範囲を規制するストッパ構造が構成されていることを特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (2):
FI (2):
G01P15/12 D
, H01L29/84 A
F-Term (13):
4M112AA02
, 4M112BA01
, 4M112CA21
, 4M112CA22
, 4M112CA27
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112DA12
, 4M112DA18
, 4M112EA03
, 4M112EA11
, 4M112EA13
, 4M112FA07
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (11)
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半導体式加速度センサおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-087995
Applicant:株式会社村田製作所
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半導体圧力センサとその製造方法及びこれを用いた複合伝送器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-292787
Applicant:株式会社日立製作所
-
半導体加速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-067633
Applicant:オムロン株式会社
-
加速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-331700
Applicant:曙ブレーキ工業株式会社, 日本インター株式会社
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加速度センサデバイス
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-181873
Applicant:株式会社東海理化電機製作所
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半導体加速度センサおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-036487
Applicant:松下電工株式会社
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加速度検出装置及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-017638
Applicant:株式会社ニコン
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加速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-038900
Applicant:関西ガスメータ株式会社
-
加速度センサ及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-056162
Applicant:松下電工株式会社
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多次元半導体加速度センサの構造
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-156134
Applicant:株式会社フジクラ
-
加速度センサ及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-317164
Applicant:株式会社ニコン
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