電着工具の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：内山充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998325567
Publication number (International publication number)：2000153463
Application date： Nov. 16, 1998
Publication date： Jun. 06, 2000
Summary：

【要約】【課題】砥粒密度が低く研削時の目詰まりが少ない上、加工能率を任意に調整することができ、特にCMP用のポリッシングパッドのコンディショナとして好適な電着工具の製造方法を提供する。【解決手段】台金の作用面に、接着剤を所望間隔をもつ複数の点状に塗布したのち、それぞれの点状接着剤上に砥粒を仮固定し、次いで仮固定された砥粒群をメッキにより固着させることにより、電着工具を製造する。

Claim (excerpt)：

台金の作用面に、接着剤を所望間隔をもつ複数の点状に塗布したのち、それぞれの点状接着剤上に砥粒を仮固定し、次いで仮固定された砥粒群をメッキにより固着させることを特徴とする電着工具の製造方法。

IPC (2)：

B24D 3/06 , B24D 3/28

FI (2)：

B24D 3/06 B , B24D 3/28

F-Term (8)：

3C063AA02 , 3C063AB05 , 3C063BA37 , 3C063BB24 , 3C063BH03 , 3C063CC13 , 3C063EE40 , 3C063FF23

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

砥石及びその製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-334166 Applicant：株式会社ツボ万
特開昭52-052295
電着工具
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-052662 Applicant：株式会社不二越

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