Pat
J-GLOBAL ID：200903067699882766
耐食性セラミックス部材
Inventor：
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外8名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998123915
Publication number (International publication number)：1999302091
Application date： Apr. 20, 1998
Publication date： Nov. 02, 1999
Summary：
【要約】【課題】セラミックス基材との密着性に優れたフッ化物表面層を有し、ハロゲン系腐食性ガスプラズマに対して高い腐食性を示す耐食性セラミックス部材を提供する。【解決手段】セラミックスからなる基材上にフッ化物表面層が形成されているセラミックス部材であって、前記基材と前記フッ化物表面層との間に、前記セラミックスとフッ化物との中間層が形成されていることを特徴とする、耐食性セラミックス部材である。上記中間層は、主に、セラミックス焼結体をフッ化水素酸に浸漬させて加熱処理を施すことによって、フッ化物表面層と同時に形成する。
Claim (excerpt)：
セラミックスからなる基材上にフッ化物表面層が形成されているセラミックス部材であって、前記基材と前記フッ化物表面層との間に、前記セラミックス基材とフッ化物とを含んでなる中間層が形成されていることを特徴とする、耐食性セラミックス部材。
IPC (5)：
C04B 41/87
, C04B 41/89
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
, H01L 21/68
C04B 41/87 Z
, C04B 41/89 Z
, H01L 21/205
, H01L 21/68 N
, H01L 21/302 B
