Pat
J-GLOBAL ID：200903067726113087

パターンの検査方法

Inventor：
服部 新一

About 服部 新一

, 
井田 徹

About 井田 徹

, 
松野 修三

About 松野 修三


Applicant, Patent owner：
日本アビオニクス株式会社

About 日本アビオニクス株式会社


Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999260012
Publication number (International publication number)：2001084376
Application date： Sep. 14, 1999
Publication date： Mar. 30, 2001
Summary：
【要約】【課題】 穴位置の変動に影響されることなく導体パターンと穴の検査を行う。【解決手段】 設計時のパターンデータから導体パターン検査の基準となる第1のマスタパターンを作成し、穴データから穴検査の基準となる第2のマスタパターンを作成する。導体パターンの座標系が一致するように第1のマスタパターンと被測定パターンを位置合わせし、これらを比較して導体パターンを検査する(ステップ107)。穴の座標系が一致するように第2のマスタパターンと被測定パターンを位置合わせし、これらを比較して穴を検査する(ステップ108)。導体パターンの座標系が一致するように第2のマスタパターンと被測定パターンを位置合わせし、穴の位置ずれを検査する(ステップ109)。
Claim (excerpt)：
被測定パターンの設計時のパターンデータから導体パターン検査の基準となる第1のマスタパターンの画像を作成するとともに、被測定パターンの設計時の穴データから穴検査の基準となる第2のマスタパターンの画像を作成し、導体パターンの座標系が一致するように第1のマスタパターンの画像とカメラで撮像した被測定パターンの画像とを位置合わせした後、これらを比較して被測定パターン中の導体パターンを検査し、穴の座標系が一致するように第2のマスタパターンの画像と被測定パターンの画像とを位置合わせした後、これらを比較して被測定パターン中の穴を検査し、導体パターンの座標系が一致するように第2のマスタパターンの画像と被測定パターンの画像とを位置合わせした後、これらを比較して被測定パターン中の穴の位置ずれを検査することを特徴とするパターンの検査方法。
IPC (2)：
G06T 7/00 ,  G01B 11/00
FI (2)：
G06F 15/62 405 B ,  G01B 11/00 H
F-Term (33)：
2F065AA22 ,  2F065AA45 ,  2F065AA54 ,  2F065AA58 ,  2F065AA61 ,  2F065BB13 ,  2F065CC01 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ38 ,  2F065RR09 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA11 ,  5B057CA12 ,  5B057CB12 ,  5B057CD05 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DA08 ,  5B057DB02 ,  5B057DC03 ,  5B057DC06 ,  5B057DC16 ,  5B057DC32
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
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