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J-GLOBAL ID：200903067931095130
石英ガラス部材及びその評価方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994082901
Publication number (International publication number)：1995291644
Application date： Apr. 21, 1994
Publication date： Nov. 07, 1995
Summary：
【要約】【目的】 エキシマレーザーステッパーやその他の高出力パルスレーザーの光学系の寿命を短縮させることのない、耐レーザー性に優れた石英ガラス部材を提供する。【構成】 レーザーの繰り返し周波数が増大しても吸収係数の変化量が増加しない、つまり、繰り返し周波数を増加させると耐レーザー性が向上する石英ガラスを400nm以下の特定波長領域の高出力パルスレーザーの光学系に使用する。
Claim (excerpt)：
400nm以下の特定波長領域の高出力パルスレーザーの光学系に使用される石英ガラス部材において、前記レーザーの光を照射する前の190nm〜400nmの波長領域での内部透過率が99.9%以上であり、且つ前記レーザーを照射したときの照射パルス数に対する215nmの吸収係数の変化量が、前記レーザーの繰り返し周波数に関わらず一定であることを特徴とする石英ガラス部材。
IPC (6)：
C03B 20/00
, C03C 3/06
, G01M 11/00
, G01N 21/01
, G02B 1/02
, H01S 3/17
