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J-GLOBAL ID：200903068000874808

有機無機ハイブリッド薄膜センサの高感度化

Inventor：
松原 一郎

About 松原 一郎

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村山 宣光

About 村山 宣光

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申 ウソク

About 申 ウソク

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伊豆 典哉

About 伊豆 典哉


Applicant, Patent owner：
独立行政法人産業技術総合研究所

About 独立行政法人産業技術総合研究所


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004140528
Publication number (International publication number)：2005321327
Application date： May. 11, 2004
Publication date： Nov. 17, 2005
Summary：
【課題】 ナノサイズの結晶粒子からなり、多孔質構造を有することを特等とする、酸化モリブデン(MoO3 )を主成分とする導電性の有機無機ハイブリッド薄膜を製造する方法、及びその導電性有機無機ハイブリッド薄膜等を提供する。【解決手段】 下記工程を含むことを特徴とする電気伝導性有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法であって、ナノサイズの結晶粒子からなり、多孔質構造を有する酸化モリブデンの高配向薄膜を作製し、そこへ化学反応により導電性ポリマーあるいは有機イオンをインターカレートすることを特徴とする、ナノサイズの結晶粒子からなり、多孔質構造を有する、電気伝導性有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法、該方法により作製される、VOCガスに対して高感度に応答するセンサ部材。【選択図】図7
Claim (excerpt)：
ナノサイズの結晶粒子からなり、多孔質構造を有する金属酸化物の高配向薄膜に、導電性ポリマーあるいは有機イオンをインターカレートしたことを特徴とする導電性有機無機ハイブリッド薄膜。
IPC (3)：
G01N27/12 ,  B82B3/00 ,  C01G39/02
FI (3)：
G01N27/12 C ,  B82B3/00 ,  C01G39/02
F-Term (17)：
2G046AA18 ,  2G046AA25 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046FA01 ,  2G046FA04 ,  2G046FB02 ,  2G046FC01 ,  2G046FE22 ,  2G046FE23 ,  4G048AA02 ,  4G048AB01 ,  4G048AC08 ,  4G048AD02 ,  4G048AE08
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • ガスセンサ及びその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-066108   Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所
  • 特表2003-422141号公報
Cited by examiner (3)

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