混合気体成分分析装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：福村直樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995252993
Publication number (International publication number)：1997096625
Application date： Sep. 29, 1995
Publication date： Apr. 08, 1997
Summary：

【要約】【課題】イオン化ポテンシャル近接の複数成分含有試料気体、又は分子量近接の複数種成分含有試料気体中の各成分を高精度で定量可能にした混合気体成分分析装置の提供。【解決手段】試料気体に波長相違の光を照射し、又は光強度相違の光を照射することを特徴とする混合気体成分分析装置。

Claim (excerpt)：

静磁場内に置かれた高真空セル内に導入した試料気体をイオン化し、高真空セルに設けられた照射電極対に高周波を印加することにより高周波電場をイオンに印加して、測定対象である特定成分のイオンにイオンサイクロトロン共鳴を誘起させ、前記イオンサイクロトロン共鳴を高周波電気減衰信号として検出し、この高周波電気減衰信号をデジタル信号に変換し、時間領域信号であるデジタル高周波電気減衰信号を周波数領域信号に変換するフーリエ変換質量分析手段と、前記試料気体に単一波長の光を照射することにより、前記試料気体を形成する成分の分子にイオン化エネルギーを付与し、かつ、前記試料気体に照射する光の波長を可変可能にする波長可変光照射手段とを有することを特徴とする混合気体成分分析装置。

IPC (3)：

G01N 27/64 , G01N 27/62 , H01J 49/26

FI (3)：

G01N 27/64 B , G01N 27/62 K , H01J 49/26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

フーリエ変換質量分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-026577 Applicant：日機装株式会社
レーザイオン化中性粒子質量分析装置およびレーザイオン化中性粒子質量分析方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-272247 Applicant：日本電信電話株式会社
特開昭61-061361

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