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J-GLOBAL ID：200903068383041022

振動制御したセンサ素子

Inventor：
奥村 英正

About 奥村 英正

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柴田 和義

About 柴田 和義

, 
武内 幸久

About 武内 幸久


Applicant, Patent owner：
日本碍子株式会社

About 日本碍子株式会社


Agent (1)： 渡邉 一平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995334651
Publication number (International publication number)：1997178642
Application date： Dec. 22, 1995
Publication date： Jul. 11, 1997
Summary：
【要約】【課題】 圧電素子(20)及び振動部(12)の屈曲振動がセンサ素子自体を振動させて、ノイズが発生する場合があった。そこで、圧電素子及び振動部の屈曲振動を妨害することなく、この屈曲振動が励起するセンサ素子の不要な振動を防止又は低減することが所望される。【解決手段】 振動部(12)を有する基体(10)と、圧電膜(22)と一対の電極(24a、24b)とを有する圧電素子(20)と、基体の少なくとも一部を被覆する振動防止層(30)とを有するセンサ素子。振動防止層が、板(32、34)と、板及び基体を固定するための接着層(36)とを有してもよい。振動防止層(30)には、圧電素子(20)を被覆しないように、穴(38)が形成されてもよい。一対の第1電極(42a、42b)と、多孔体(44)とを有する電池において、上記センサ素子が多孔体(44)の内部に設けられ、多孔体又は第1電極が振動防止層として作用する電池。
Claim (excerpt)：
振動部を有する基体と、当該振動部の一方の表面に固定され、かつ、圧電膜と当該圧電膜を挟む一対の電極とを有する圧電素子と、当該基体の少なくとも一部を被覆する振動防止層とを有することを特徴とするセンサ素子。
IPC (3)：
G01N 11/10 ,  G01N 11/16 ,  H01L 41/08
FI (3)：
G01N 11/10 ,  G01N 11/16 Z ,  H01L 41/08 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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