構造物の性質を測定する装置及び方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊東忠彦
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000551218
Publication number (International publication number)：2002516984
Application date： May. 27, 1999
Publication date： Jun. 11, 2002
Summary：

【要約】少なくとも一層(10)を有する構造物の性質を測定する方法及び装置を開示する。装置は、光学パルス(12)を発生させるレーザ(52)と、前記光学パルスを少なくとも二つの励起パルス(12’、12’’)に分割するビームスプリッタ(62)と、前記構造物上に又は前記構造物中に前記励起パルスを空間的及び一時的に重ねて、前記構造物の性質を変化させる、例えば時間依存表面リプル(17a、17b)を発生する音波を発する励起パターン(15)を形成する光学システム(70)と、プローブビーム(20)を発振させて信号ビーム(20’)を発生させる光源(54)とを具備する。ビームスプリッタのような回折素子を利用することにより、前記構造物に上記素子の像を写し、信号ビームとして前記構造物により反射されたプローブビームを利用することにより、正確で、且つ信頼性のある測定を実行することが可能となる。

Claim (excerpt)：

光学パルスを発生させるレーザと、前記光学パルスを受け、前記光学パルスを分割させて少なくとも二つの励起パルスを発生させるビームスプリッタと、前記少なくとも二つの励起パルスを受け、前記構造物上又は前記構造物中に前記パルスを空間的及び一時的に重ね、音波を、電子的応答を、若しくは前記構造物の少なくともある部分を変化させる熱的応答を発する励起パターンを形成する光学システムと、前記構造物の前記部分を感知して信号ビームを発生させるプローブビームを発生させる光源と、前記信号ビームを受け、応答して光誘導電気信号を発生させる光学的検出システムと、前記光誘導電気信号を解析して前記構造物の性質を測定するアナライザーとからなる構造物の性質を測定する装置であって、前記ビームスプリッタは回折素子であり、前記信号ビームは前記部分により反射されたプローブビームにより構成されることを特徴とする装置。

IPC (4)：

G01N 29/00 501 , G01B 11/06 , G01B 21/08 , G01N 25/16

FI (4)：

G01N 29/00 501 , G01B 11/06 Z , G01B 21/08 , G01N 25/16 C

F-Term (20)：

2F065AA30 , 2F065FF51 , 2F065GG06 , 2F065JJ05 , 2F065JJ18 , 2F065LL42 , 2F069AA46 , 2F069GG07 , 2G040AA07 , 2G040AB07 , 2G040BA08 , 2G040BA25 , 2G040EA04 , 2G040EA06 , 2G040EC02 , 2G047AA06 , 2G047BC14 , 2G047BC18 , 2G047BC20 , 2G047CA04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開昭59-034138
受動的Qスイッチピコ秒マイクロレーザー
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平7-521349 Applicant：マサチユセツツ・インスチチユート・オブ・テクノロジー
レーザー超音波検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-115169 Applicant：新日本製鐵株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

Real-time detection of laser-induced transient gratings and surface acoustic wave pulses with a Mich

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