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J-GLOBAL ID：200903068637581820

マイクロ流路の作製方法

Inventor： 小用 広隆 ,  常友 啓司 ,  斉藤 靖弘 ,  小山 昭浩 ,  倉知 淳史 ,  岡本 慎也 ,  日▲高▼ 猛 ,  葛西 広明 ,  中村 泰
Applicant, Patent owner： 日本板硝子株式会社 ,  オリンパス株式会社
Agent (1)： 茂見 穰
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004041400
Publication number (International publication number)：2005230647
Application date： Feb. 18, 2004
Publication date： Sep. 02, 2005
Summary：

【課題】 プロセスを簡素化し、多種多様な機能性微細構造物を流路内に容易に且つ安価に作製できるようにする。【解決手段】 ガラス基板10の表面に、圧子により押圧力を印加することで微細な応力影響残留部16を形成し、ウエットエッチングすることにより、応力影響残留部とそれ以外の部分とのエッチングレートの違いを利用して、流路22内に機能性微細構造24を形成する。微細構造は、流路と同時に形成することもできるし、別々に形成することもできる。流路は、微細構造と同様、ガラス基板の表面の流路形成領域の輪郭に沿って線状の応力影響残留部を形成し、エッチングで形成するのが好ましい。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

ウエットエッチングによって第1ガラス基板の表面に開放型流路を形成し、該開放型流路を第2ガラス基板で覆ってパイプ状流路を形成し、該パイプ状流路内に機能性微細構造を形成するマイクロ流路の作製方法であって、 前記機能性微細構造については、前記第1ガラス基板及び/又は前記第2ガラス基板の表面に、圧子により押圧力を印加することで微細な応力影響残留部を形成し、その後ウエットエッチングすることにより、前記応力影響残留部とそれ以外の部分とのエッチングレートの違いを利用して形成することを特徴とするマイクロ流路の作製方法。

IPC (4)：

B01J19/00 ,  B81B1/00 ,  B81C1/00 ,  C03C15/00

FI (4)：

B01J19/00 321 ,  B81B1/00 ,  B81C1/00 ,  C03C15/00 Z

F-Term (13)：

4G059AA08 ,  4G059AB01 ,  4G059BB04 ,  4G059BB14 ,  4G075AA13 ,  4G075AA39 ,  4G075BA10 ,  4G075BD01 ,  4G075BD15 ,  4G075DA02 ,  4G075EE03 ,  4G075FA05 ,  4G075FB06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• マイクロチャンネル構造
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-185481   Applicant：財団法人神奈川科学技術アカデミー
• フィルター
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-035674   Applicant：大日本印刷株式会社
• 液体混合機構
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-023445   Applicant：ミノルタ株式会社

Cited by examiner (3)

• マイクロチャンネル構造
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-185481   Applicant：財団法人神奈川科学技術アカデミー
• 非晶質材料の加工方法及びガラス基板
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-267198   Applicant：日本板硝子株式会社
• 分離装置、分離方法および分離装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-337304   Applicant：日本電気株式会社