Pat
J-GLOBAL ID:200903068923836895
有機EL表示装置用透明導電性基材
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
荒船 博司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002168802
Publication number (International publication number):2004014401
Application date: Jun. 10, 2002
Publication date: Jan. 15, 2004
Summary:
【課題】低抵抗で、かつ、光透過性や表面平滑性に優れ、また、十分な発光強度を得ることができ、ダークスポットが発生しにくい有機EL表示装置用透明導電性基材とすること。【解決手段】大気圧または大気圧近傍の圧力下において、対向する電極間に、100kHzを越える高周波電圧で、かつ、1W/cm2以上の電力を供給し放電させることにより、反応性ガスをプラズマ状態とし、前記プラズマ状態の反応性ガスに基材を晒すことによって透明導電膜を形成し、有機EL表示装置用透明導電性基材とする。【選択図】 なし
Claim (excerpt):
基材上に透明導電膜が形成された有機EL表示装置用透明導電性基材であって、
前記透明導電膜は、大気圧又は大気圧近傍の圧力下において、対向する電極間に、100kHzを越える高周波電圧で、かつ、1W/cm2以上の電力を供給し放電させることにより、反応性ガスをプラズマ状態とし、前記プラズマ状態の反応性ガスに前記基材を晒すことによって形成される膜であることを特徴とする有機EL表示装置用透明導電性基材。
IPC (9):
H05B33/28
, B32B9/00
, C03C17/34
, C08J7/06
, C23C16/40
, H01B5/14
, H01B13/00
, H05B33/02
, H05B33/14
FI (10):
H05B33/28
, B32B9/00 A
, C03C17/34 Z
, C08J7/06
, C08J7/06 B
, C23C16/40
, H01B5/14 A
, H01B13/00 503B
, H05B33/02
, H05B33/14 A
F-Term (89):
3K007AB11
, 3K007AB17
, 3K007CA00
, 3K007CB01
, 3K007DB03
, 4F006AA02
, 4F006AA15
, 4F006AA22
, 4F006AA35
, 4F006AA36
, 4F006AB74
, 4F006BA07
, 4F006CA05
, 4F006CA08
, 4F006DA01
, 4F100AA01A
, 4F100AA17B
, 4F100AA17C
, 4F100AA19
, 4F100AA33B
, 4F100AG00A
, 4F100AH06
, 4F100AJ04A
, 4F100AK01A
, 4F100AK02A
, 4F100AK41A
, 4F100AK42
, 4F100AK54A
, 4F100AK55A
, 4F100AL05A
, 4F100AT00A
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100BA04
, 4F100BA05
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10B
, 4F100BA10E
, 4F100EJ08
, 4F100EJ082
, 4F100EJ34
, 4F100EJ342
, 4F100EJ54
, 4F100EJ542
, 4F100EJ61
, 4F100EJ612
, 4F100GB41
, 4F100JD02E
, 4F100JG01B
, 4F100JG04
, 4F100JK15
, 4F100JL06E
, 4F100JN01B
, 4F100JN06D
, 4F100YY00B
, 4G059AA08
, 4G059AC04
, 4G059AC14
, 4G059AC22
, 4G059EA02
, 4G059EA03
, 4G059EB01
, 4G059GA01
, 4G059GA02
, 4G059GA04
, 4G059GA07
, 4G059GA12
, 4K030AA11
, 4K030AA14
, 4K030AA17
, 4K030BA11
, 4K030BA16
, 4K030BA21
, 4K030BA42
, 4K030CA06
, 4K030CA07
, 4K030CA12
, 4K030FA03
, 4K030JA09
, 4K030JA16
, 4K030JA18
, 5G307FA02
, 5G307FB01
, 5G307FC07
, 5G307FC09
, 5G323BA02
, 5G323BB03
, 5G323BC02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
-
発光素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-350170
Applicant:富士写真フイルム株式会社
-
特開昭62-116772
-
特開昭61-022598
-
液晶表示装置用フィルム及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-288125
Applicant:積水化学工業株式会社
-
透明電極
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-054051
Applicant:三井化学株式会社
-
透明電極
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-308507
Applicant:三井化学株式会社
-
有機エレクトロルミネッセンス素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-118234
Applicant:出光興産株式会社
-
酸化亜鉛薄膜の形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-083197
Applicant:大倉工業株式会社
-
インジウム-スズ酸化物(ITO)フィルム及びその製造方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2001-582848
Applicant:ウンアクシスドイチェランドゲーエムベーハー
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