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J-GLOBAL ID:200903068923836895

有機EL表示装置用透明導電性基材

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 荒船 博司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002168802
Publication number (International publication number):2004014401
Application date: Jun. 10, 2002
Publication date: Jan. 15, 2004
Summary:
【課題】低抵抗で、かつ、光透過性や表面平滑性に優れ、また、十分な発光強度を得ることができ、ダークスポットが発生しにくい有機EL表示装置用透明導電性基材とすること。【解決手段】大気圧または大気圧近傍の圧力下において、対向する電極間に、100kHzを越える高周波電圧で、かつ、1W/cm2以上の電力を供給し放電させることにより、反応性ガスをプラズマ状態とし、前記プラズマ状態の反応性ガスに基材を晒すことによって透明導電膜を形成し、有機EL表示装置用透明導電性基材とする。【選択図】 なし
Claim (excerpt):
基材上に透明導電膜が形成された有機EL表示装置用透明導電性基材であって、 前記透明導電膜は、大気圧又は大気圧近傍の圧力下において、対向する電極間に、100kHzを越える高周波電圧で、かつ、1W/cm2以上の電力を供給し放電させることにより、反応性ガスをプラズマ状態とし、前記プラズマ状態の反応性ガスに前記基材を晒すことによって形成される膜であることを特徴とする有機EL表示装置用透明導電性基材。
IPC (9):
H05B33/28 ,  B32B9/00 ,  C03C17/34 ,  C08J7/06 ,  C23C16/40 ,  H01B5/14 ,  H01B13/00 ,  H05B33/02 ,  H05B33/14
FI (10):
H05B33/28 ,  B32B9/00 A ,  C03C17/34 Z ,  C08J7/06 ,  C08J7/06 B ,  C23C16/40 ,  H01B5/14 A ,  H01B13/00 503B ,  H05B33/02 ,  H05B33/14 A
F-Term (89):
3K007AB11 ,  3K007AB17 ,  3K007CA00 ,  3K007CB01 ,  3K007DB03 ,  4F006AA02 ,  4F006AA15 ,  4F006AA22 ,  4F006AA35 ,  4F006AA36 ,  4F006AB74 ,  4F006BA07 ,  4F006CA05 ,  4F006CA08 ,  4F006DA01 ,  4F100AA01A ,  4F100AA17B ,  4F100AA17C ,  4F100AA19 ,  4F100AA33B ,  4F100AG00A ,  4F100AH06 ,  4F100AJ04A ,  4F100AK01A ,  4F100AK02A ,  4F100AK41A ,  4F100AK42 ,  4F100AK54A ,  4F100AK55A ,  4F100AL05A ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100BA04 ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10B ,  4F100BA10E ,  4F100EJ08 ,  4F100EJ082 ,  4F100EJ34 ,  4F100EJ342 ,  4F100EJ54 ,  4F100EJ542 ,  4F100EJ61 ,  4F100EJ612 ,  4F100GB41 ,  4F100JD02E ,  4F100JG01B ,  4F100JG04 ,  4F100JK15 ,  4F100JL06E ,  4F100JN01B ,  4F100JN06D ,  4F100YY00B ,  4G059AA08 ,  4G059AC04 ,  4G059AC14 ,  4G059AC22 ,  4G059EA02 ,  4G059EA03 ,  4G059EB01 ,  4G059GA01 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA07 ,  4G059GA12 ,  4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030AA17 ,  4K030BA11 ,  4K030BA16 ,  4K030BA21 ,  4K030BA42 ,  4K030CA06 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030FA03 ,  4K030JA09 ,  4K030JA16 ,  4K030JA18 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC07 ,  5G307FC09 ,  5G323BA02 ,  5G323BB03 ,  5G323BC02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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