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J-GLOBAL ID：200903068965159079

金属表面の酸化膜厚さ測定方法

Inventor：
石 本 慎 二

About 石 本 慎 二


Applicant, Patent owner：
株式会社グローバル・ニュークリア・フュエル・ジャパン

About 株式会社グローバル・ニュークリア・フュエル・ジャパン


Agent (4)： 吉武 賢次 ,  永井 浩之 ,  岡田 淳平 ,  勝沼 宏仁
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005165278
Publication number (International publication number)：2006337310
Application date： Jun. 06, 2005
Publication date： Dec. 14, 2006
Summary：
【課題】 酸化膜が形成される前に重量や表面積を評価することを必要とせず、また、酸化膜形成後も、重量の評価や、切断、研磨をすることなく、局所的な領域、または広い範囲の領域における酸化膜厚さを簡便にかつ非破壊的に測定することができる方法を得ること。【解決手段】 金属表面に生成する酸化膜の厚さに対応する輝度を有する複数のスケール1を、表面に酸化膜が形成された測定対象物2に隣接して配置し、上記測定対象物の表面輝度を上記スケールの輝度と照合し、上記測定対象物の表面輝度と一致する輝度を有するスケールを選定することにより、酸化膜の厚さを検出する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
金属表面に生成する酸化膜の厚さに対応する輝度を有する複数のスケールを、表面に酸化膜が形成された測定対象物に隣接して配置し、上記測定対象物の表面輝度を上記スケールの輝度と照合し、上記測定対象物の表面輝度と一致する輝度を有するスケールを選定することにより、酸化膜の厚さを検出することを特徴とする、金属表面の酸化膜厚さ測定方法。
IPC (4)：
G01B 11/06 ,  B21C 51/00 ,  G01N 21/27 ,  G21C 17/06
FI (4)：
G01B11/06 H ,  B21C51/00 P ,  G01N21/27 A ,  G21C17/06 D
F-Term (20)：
2F065AA30 ,  2F065BB08 ,  2F065CC31 ,  2F065FF41 ,  2F065FF61 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2G059AA10 ,  2G059BB08 ,  2G059CC20 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059KK04 ,  2G075CA38 ,  2G075DA14 ,  2G075FA11 ,  2G075GA14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • 特開平4-013910
  • 膜厚測定装置および膜厚測定方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-100330   Applicant：三菱レイヨン株式会社
  • 膜厚測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-156494   Applicant：日本電気株式会社
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