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J-GLOBAL ID：200903068979087283

感放射線樹脂組成物およびその利用

Inventor：
大森 宏紀

About 大森 宏紀


Applicant, Patent owner：
日本ゼオン株式会社

About 日本ゼオン株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005083147
Publication number (International publication number)：2006265322
Application date： Mar. 23, 2005
Publication date： Oct. 05, 2006
Summary：
【課題】 高温加熱条件下でも膜厚変動が少なく、透明性を維持する樹脂膜を形成することのできる感放射線樹脂組成物を提供する。【解決手段】 A:酸性基を有する脂環式オレフィン重合体、B:酸性基と反応する官能基を2つ以上有する化合物、C:オニウム塩、D:酸化防止剤を前記重合体100重量部に対し3〜15重量部含有してなる感放射線樹脂組成物。
Claim (excerpt)：
A:酸性基を有する脂環式オレフィン重合体、B:前記酸性基と反応する官能基を2つ以上有する化合物、C:オニウム塩、D:酸化防止剤を前記重合体100重量部に対し3〜15重量部含有してなる感放射線樹脂組成物。
IPC (7)：
C08G 59/42 ,  C08L 45/00 ,  C08L 65/00 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/312
FI (7)：
C08G59/42 ,  C08L45/00 ,  C08L65/00 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/033 ,  G03F7/038 503 ,  H01L21/312 D
F-Term (36)：
2H025AA00 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB14 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BD03 ,  2H025BE00 ,  2H025CA48 ,  2H025CB30 ,  2H025CC01 ,  4J002BK001 ,  4J002CE001 ,  4J002EJ016 ,  4J002EJ026 ,  4J002EJ036 ,  4J002EV076 ,  4J002FD076 ,  4J002GP03 ,  4J036AA01 ,  4J036FA10 ,  4J036FB01 ,  4J036FB02 ,  4J036GA22 ,  4J036HA02 ,  4J036JA09 ,  4J036KA01 ,  5F058AA10 ,  5F058AB07 ,  5F058AC07 ,  5F058AD08 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)

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