Pat

J-GLOBAL ID：200903072633399022

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 小笠原 昭二 ,  西村 功 ,  遠藤 昌之
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997211096
Publication number (International publication number)：1999052574
Application date： Aug. 06, 1997
Publication date： Feb. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 絶縁性、平坦性、耐熱性、透明性、耐薬品性などの諸性能に優れるとともに、低誘電性に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 [A]アルカリ可溶性環状ポリオレフィン系樹脂[B]下記式(1):-CH2OR1 (1)[式中、R1は水素原子またはアルキル基である]で示される基を分子内に有する架橋剤、および[C]感放射線性酸発生剤を含有する感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

[A]アルカリ可溶性環状ポリオレフィン系樹脂[B]下記式(1):-CH2OR1 (1)[式中、R1は水素原子またはアルキル基である]で示される基を分子内に有する架橋剤、および[C]感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/038 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L 65/00 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/038 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L 65/00 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• レジスト組成物とレジストパターンの形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-269865   Applicant：富士通株式会社
• 環状オレフィン樹脂組成物およびその架橋物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-179435   Applicant：日本ゼオン株式会社
• 感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-082299   Applicant：日本ゼオン株式会社
• レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-208302   Applicant：富士通株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-121845   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-115846   Applicant：ジェイエスアール株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-184047   Applicant：日本合成ゴム株式会社