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J-GLOBAL ID:200903069135079907

微粒子計測装置および計測方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 三林 大介
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005369382
Publication number (International publication number):2007171001
Application date: Dec. 22, 2005
Publication date: Jul. 05, 2007
Summary:
【課題】流体に含まれる微粒子の中から所定の粒径範囲内の微粒子だけを、正確に且つ安定して時系列的に計測する。【解決手段】帯電させた微粒子を含んだ計測対象流体と、搬送流体とが層を成すような状態で流しておき、流れに交差する方向の電場を形成する。微粒子が電場を受けて流れを横切る方向に移動する速度は粒径に依存するので、微粒子は粒径に応じて異なる経路を通過する。この性質を利用して、計測対象の微粒子を、所望の粒径よりも大きな微粒子と小さな微粒子とに分離し、何れか一方の微粒子を検出する。こうすれば、電場の強さや、搬送流体の流速などを適切に設定することで、所望の粒径よりも大きな微粒子、あるいは所望の粒径よりも小さな微粒子だけを、高い精度で且つ安定して、しかも時系列的に計測することが可能となる。【選択図】図2
Claim (excerpt):
流体中に含まれる微粒子を計測する微粒子計測装置であって、 前記計測対象の微粒子を含んだ流体たる計測対象流体と、該計測対象流体と共に供給される搬送流体とが、層を成して流れる通路部と、 前記通路部の上流側に設けられて、前記微粒子を帯電させる微粒子帯電部と、 前記微粒子帯電部の下流側で、前記搬送流体の流れに交差する方向の電場を形成する電場形成部と、 前記計測対象流体および前記搬送流体が前記電場内を通過する際に、前記帯電した微粒子が該電場の力を受けて該搬送流体の流れを横切る方向に移動する速度が、該微粒子の粒径に応じて異なる性質を利用して、該微粒子を、該移動速度が所定の閾値速度よりも小さな大径微粒子と、該移動速度が該閾値速度よりも大きな小径微粒子とに分離する微粒子分離部と、 前記大径微粒子または前記小径微粒子の何れか一方を検出する微粒子検出部と を備える微粒子計測装置。
IPC (1):
G01N 15/02
FI (2):
G01N15/02 F ,  G01N15/02 D
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (8)
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Cited by examiner (5)
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