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J-GLOBAL ID：200903069244515660

電子源及びその製造方法

Inventor： 井出 哲也 ,  浦山 雅夫
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000123180
Publication number (International publication number)：2001093404
Application date： Apr. 24, 2000
Publication date： Apr. 06, 2001
Summary：

【要約】【課題】 真空排気及び真空維持が容易で、かつ低電圧で高い放出電流密度が可能な冷陰極電子源を用いたデバイスを安価に提供する。【解決手段】 冷陰極電子源は、低電界で電子放出が可能となるカーボンナノチューブ等の冷陰極材料を用い、必要な構成部品を各々の未焼性セラミックシート(グリーンシート21,43,46)に設け、それらを積層焼成して一体化した構造とし、また、その製造方法は、平板にスルーホール20をあけ、そのスルーホール20にカーボンナノチューブ31を分散させた導電ペースト30を吸引して充填することにより、カーボンナノチューブ31をスルーホール20方向に容易に配向させて製造する。

Claim (excerpt)：

少なくともカソード電極、エミッタ部を設けた第1の層と、制御電極を設けた第2の層とがシート状に積層され、その上部にスペーサを配置し、前記第1の層及び第2の層が焼成され、更に該スペーサを上部に配して一体化形成されたことを特徴とする電子源。

IPC (3)：

H01J 1/304 ,  H01J 5/03 ,  H01J 9/02

FI (3)：

H01J 5/03 ,  H01J 9/02 B ,  H01J 1/30 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 電子放出陰極、それを用いた電子放出素子、フラットディスプレイ、及び熱電冷却装置、ならびに電子放出陰極の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-255356   Applicant：松下電器産業株式会社
• 画像表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-264441   Applicant：キヤノン株式会社
• 電極、及びその電極を有する表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-089364   Applicant：日本真空技術株式会社
• 接着性カ-ボンナノチュ-ブ膜を有するデバイス
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-266103   Applicant：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド
• エミッタ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-359402   Applicant：富士通株式会社