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J-GLOBAL ID:200903069692402753

検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999053749
Publication number (International publication number):2000249658
Application date: Mar. 02, 1999
Publication date: Sep. 14, 2000
Summary:
【要約】【課題】検査領域を正確にかつ効率よく指定することにより過検出を抑制することができる検査装置を提供する。【解決手段】入力された画像について検査領域を設定する検査領域設定メモリ307と、設定された検査領域に含まれる複数の閉領域の特定位置の配置パターンを照合することで、基準となる対象物の画像と、被検査対象物の画像との間の相対的位置情報を検出するマッチング回路306と、検出された基準画像と被検査画像との間の相対的位置情報を基に、被検査画像内で検査領域を設定して検査処理を行なう検査アルゴリズム実行回路308とを具備する。
Claim (excerpt):
対象物の画像を入力する撮像手段と、入力された画像について少なくとも検査領域を設定する検査領域設定手段と、設定された検査領域に含まれる複数の閉領域の特定位置の配置パターンを照合することで、基準となる対象物の画像である基準画像と、被検査対象物の画像である被検査画像との間の相対的位置情報を検出する画像間照合手段と、検出された相対的位置情報を基に、被検査画像内で検査領域を設定して検査処理を行なう検査実行手段と、を具備することを特徴とする検査装置。
F-Term (12):
2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AB11 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA01 ,  2G051DA13 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051ED11 ,  2G051ED23
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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