基板処理装置のフィルタ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉谷勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996199475
Publication number (International publication number)：1998033920
Application date： Jul. 30, 1996
Publication date： Feb. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】パーティクル除去部材と気体透過部材とを一体化することによって、コンパクト化を図ることができるとともに、極めて容易に配管へ取り付けることができ、さらには装置の互換性を保つことができる。【解決手段】第1流通路21eと、第2流通路20eと、第3流通路20fとを有する容器20と、パーティクル除去部材21と、気室と液室とを有し、パーティクル除去部材21の外径よりも大きな内径を有する筒状の気体透過部材22とを備え、パーティクル除去部材21の中空部分が第1流通路21eに連通するように配設し、パーティクル除去部材21を中空部分に収容して横断面同心円状となるように、かつ、第2流通路20eに気室が連通するように、気体透過部材22を配設し、第1流通路21eと第3流通路20fとを介して配管に取り付ける。

Claim (excerpt)：

処理液が流通する配管に介在する基板処理装置のフィルタであって、内部に連通した第1流通路と、第2流通路と、第3流通路とを有する容器と、パーティクル除去作用を有する筒状のパーティクル除去部材と、気室と液室とを有し、前記気室から前記液室または前記液室から前記気室へ気体のみを透過する気体透過作用を有し、前記パーティクル除去部材の外径よりも大きな内径を有する筒状の気体透過部材とを備え、前記パーティクル除去部材の中空部分が前記第1流通路に連通するように前記パーティクル除去部材を前記容器内に配設して、前記第1流通路の反対側の中空部分を閉塞するとともに、前記パーティクル除去部材を中空部分に収容して横断面同心円状となるように、かつ、前記第2流通路に前記気室が連通するように、かつ、前記第1流通路の反対側の中空部分を閉塞して前記容器内に前記気体透過部材を配設し、前記第1流通路と前記第3流通路とを介して前記配管に取り付けるようにしたことを特徴とする基板処理装置のフィルタ。

IPC (7)：

B01D 36/02 , B01D 19/00 , B01D 35/02 , B01D 53/22 , H01L 21/027 , H01L 21/304 341 , B29D 31/00

FI (8)：

B01D 36/02 , B01D 19/00 G , B01D 53/22 , H01L 21/304 341 Z , B29D 31/00 , B01D 35/02 A , H01L 21/30 564 Z , H01L 21/30 569 B

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

基板用処理液の脱気装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-346459 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
レジスト送液装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-064123 Applicant：富士通株式会社
基板への処理液供給装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-319240 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社

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