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J-GLOBAL ID：200903070071121538

電子顕微鏡の球面収差補正装置

Inventor： 細川 史生
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002200768
Publication number (International publication number)：2003092078
Application date： Jul. 10, 2002
Publication date： Mar. 28, 2003
Summary：

【要約】【課題】 球面収差補正光学系において倍率変化が得られるようにし、また、多極子間の光軸に垂直な面内での回転関係を多極子の位相角を変化させることなく補正可能にする。【解決手段】 2つの多極子(8,9)間に2つの軸対称レンズ(10,11)を配置した電子顕微鏡の球面収差補正装置において、軸対称レンズ間にできる電子軌道の集光面内に、光軸と垂直な面内で電子に回転作用を与える回転補正レンズ(12)を配置したものである。

Claim (excerpt)：

2つの多極子間に2つの軸対称レンズを配置した電子顕微鏡の球面収差補正装置において、軸対称レンズ間にできる電子軌道の集光面内に、光軸と垂直な面内で電子に回転作用を与える回転補正レンズを配置したことを特徴とする電子顕微鏡の球面収差補正装置。

F-Term (1)：

5C033HH05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 透過電子顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-169792   Applicant：日本電子株式会社
• 特開平4-229938
  
• 透過電子顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-169791   Applicant：日本電子株式会社