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J-GLOBAL ID:200903070303398698
欠点検査装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
松浦 憲三
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000249772
Publication number (International publication number):2002062267
Application date: Aug. 21, 2000
Publication date: Feb. 28, 2002
Summary:
【要約】【課題】小型で簡単な構造のガラス板欠点検査装置を提供する【解決手段】ガラス板12の上面12Bに第1プリズム14を配置し、ガラス板12の下面12Cに第2プリズム16を配置し、カメラ18をガラス板12の端面12Aに対向配置し、カメラ18で端面12A、上面12B、下面12Cを同時に撮像する。
Claim (excerpt):
板状の被検査体の端面及び端面の近傍に存在する傷、欠け等の欠点を検出する欠点検査装置において、被検査体の一方面に配置された第1プリズムと、被検査体の他方面に配置された第2プリズムと、被検査体の端面に対向配置され該端面を撮像するとともに、前記第1プリズムを介して被検査体の一方面と第2プリズムを介して被検査体の他方面とを撮像する撮像手段と、該撮像手段で撮像された画像に基づいて被検査体の一方面、他方面、及び端面に存在する欠点を検出する検出手段と、を備えたことを特徴とする欠点検査装置。
F-Term (11):
2G051AA42
, 2G051AB03
, 2G051AB05
, 2G051AB08
, 2G051BB05
, 2G051CA04
, 2G051CB05
, 2G051CC11
, 2G051DA06
, 2G051EB01
, 2G051ED09
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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板ガラスの欠点検出装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-011169
Applicant:セントラル硝子株式会社, 大洋エレックス株式会社
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被検査物の撮像装置および半導体パッケージの検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-157049
Applicant:株式会社小松製作所
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物品の表面検査方法およびそれに使用する装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-039839
Applicant:藤沢薬品工業株式会社
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ガラス基板のライン検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-017556
Applicant:日本板硝子株式会社
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欠陥検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-262520
Applicant:株式会社神戸製鋼所, ジェネシス・テクノロジー株式会社
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特開平4-315037
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特開昭63-066445
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