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J-GLOBAL ID：200903070337741545
XYθステージ装置及びその制御方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 陽介 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000177814
Publication number (International publication number)：2001356187
Application date： Jun. 14, 2000
Publication date： Dec. 26, 2001
Summary：
【要約】【課題】 構成を簡略化し、軽量化したXYθステージ装置及びその制御方法を提供する。【解決手段】 X軸方向に対向配置される1対のリニアモータ12A、12Bと、X軸に直交するY軸方向に対向配置される1対のリニアモータ14A、14Bと、移載物を積載する可動テーブル30と、X軸Y軸と同一平面内のθ軸方向に、可動テーブル30を回転自在に支承する回転支承手段と、XYエンコーダ42と、θエンコーダと、2対のリニアモータ12A〜14Bをそれぞれ駆動し、可動テーブル30のX軸位置とY軸位置及びθ軸位置を制御する位置制御器とを備えた構成とした。
Claim (excerpt)：
X軸方向に対向配置される1対のリニアモータと、前記X軸に直交するY軸方向に対向配置される1対のリニアモータと、移載物を積載する可動テーブルと、前記X軸Y軸と同一平面内のθ軸方向に、前記可動テーブルを回転自在に支承する回転支承手段と、前記2対のリニアモータをそれぞれ駆動し、前記可動テーブルのX軸位置とY軸位置及びθ軸位置を制御する位置制御器とを備えたことを特徴とするXYθステージ装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G12B 5/00 T
, G05D 3/12 P
2F078CA08
, 2F078CA10
, 2F078CB02
, 2F078CB05
, 2F078CB09
, 2F078CB12
, 2F078CC07
, 2F078CC11
, 5H303BB02
, 5H303BB09
, 5H303BB14
, 5H303CC01
, 5H303CC04
, 5H303DD04
, 5H303FF03
, 5H303HH01
