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J-GLOBAL ID:200903032843538465
移動ステージ装置、及び該ステージ装置を用いた回路デバイス製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997071466
Publication number (International publication number):1998270535
Application date: Mar. 25, 1997
Publication date: Oct. 09, 1998
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】 移動ステージ装置の可動ステージ本体が引きずる電気配線や空圧用チューブの本数を低減して、ステージ装置の静特性、動特性を改善する。【解決手段】 移動ステージ装置1を構成するベース構造体上で可動ステージ構造体2がウェハ交換位置にきたとき、ベース構造体側に設けられた送電端子部9bと可動ステージ構造体側に設けられた受電端子部9aとを接触させ、送電端子部9bから供給される電流を受電端子部を介して可動ステージ構造体2に搭載されたバッテリーに充電するようにし、ステージ構造体がウェハ交換位置から離れたときはバッテリーの電力を使ってステージ構造体上に載置されるウェハを電気的に吸着維持するようにし、ウェハの交換動作の際の吸着開始、吸着解除等の制御を無線式又は有線のカプラ方式で行うように構成する。
Claim (excerpt):
ベース構造体と、該ベース構造体で規定される所定平面に沿って移動するステージ構造体と、前記ステージ構造体上で被処理基板を保持する基板載置部とを有する移動ステージ装置において、前記ステージ構造体を前記ベース構造体から浮上させた状態で前記ベース構造体の所定平面に沿って非接触方式で移動させる電気的駆動手段と、前記被処理基板を前記基板載置部に吸着させる電気的吸着手段と、前記ステージ構造体に設けられて電気エネルギーを蓄積する再充電可能なバッテリーと、前記ステージ構造体に設けられて前記電気的駆動手段と前記電気的吸着手段の少なくとも1つに前記バッテリーからの電気エネルギーを制御して供給する給電制御回路と、前記ステージ構造体に設けられて前記給電制御回路の動作を指示する制御情報を受信する受信回路とを備えたことを特徴とする移動ステージ装置。
IPC (4):
H01L 21/68
, B23Q 1/44
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
FI (7):
H01L 21/68 K
, H01L 21/68 P
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 503 B
, H01L 21/30 515 G
, H01L 21/30 516 B
, B23Q 1/14 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (13)
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位置決め装置並びにデバイス製造装置及び方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-036946
Applicant:キヤノン株式会社
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特開平4-287946
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特開昭62-102526
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試料搬送ホルダ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-008300
Applicant:株式会社日立製作所
-
ウエハ用真空チャックとこれを用いた半導体装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-105910
Applicant:沖電気工業株式会社
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特開平4-186818
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ウェハステージ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-201560
Applicant:株式会社東芝
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投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-296425
Applicant:株式会社ニコン
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特開平4-065854
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特開平4-287946
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特開平4-065854
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特開昭62-102526
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ワーク固定装置及び同装置を備えたワーク入れ換え装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-230957
Applicant:株式会社ナガセインテグレックス
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