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J-GLOBAL ID：200903070469536169

固体撮像装置およびその製造方法

Inventor：
国仙谷 昇

About 国仙谷 昇


Applicant, Patent owner：
パナソニック株式会社

About パナソニック株式会社


Agent (3)： 中島 司朗 ,  松村 修治 ,  小林 国人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007183165
Publication number (International publication number)：2009021415
Application date： Jul. 12, 2007
Publication date： Jan. 29, 2009
Summary：
【課題】撮像画素サイズにかかわらず、混色の発生を効果的に抑制し得る固体撮像装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】固体撮像装置1は、半導体基板100の一方の主面に沿って複数の撮像画素が二次元配列されてなる構成を有する。そして、固体撮像装置1では、複数の撮像画素の各々に、光電変換機能を有するフォトダイオード101と、当該フォトダイオード101よりもZ軸方向上方に配されたカラーフィルタ110とが設けられており、半導体基板100の厚み方向(Z軸方向)において、隣り合う前記撮像画素間に、半導体基板100の一方の主面から、カラーフィルタ110の上端と略同一の高さあるいはそれよりも上方に達するまでの範囲で、遮光部が形成されている。遮光部は、遮光膜106と遮光壁113との組み合わせをもって構成されている。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
半導体基板の一方の主面に沿って複数の撮像画素が互いに間隔をあけた状態で二次元配列された固体撮像装置であって、 前記複数の撮像画素の各々には、光電変換機能を有する受光部と、当該受光部よりも上方に配された光学フィルタとが設けられており、 隣り合う前記撮像画素間には、前記半導体基板の厚み方向において、前記一方の主面から、前記光学フィルタの上端と略同一の高さあるいはそれよりも上方に達するまでの範囲で、光を遮蔽する遮光部が形成されている ことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2)：
H01L 27/14 ,  H04N 5/335
FI (2)：
H01L27/14 D ,  H04N5/335 V
F-Term (19)：
4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118CA02 ,  4M118CA03 ,  4M118CA32 ,  4M118FA06 ,  4M118FA26 ,  4M118FA35 ,  4M118GB03 ,  4M118GB06 ,  4M118GB08 ,  4M118GB11 ,  4M118GB14 ,  4M118GB19 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024CX03 ,  5C024CY48
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 固体撮像素子
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-249471   Applicant：ソニー株式会社
Cited by examiner (4)
  • 固体撮像装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-004519   Applicant：松下電器産業株式会社
  • 固体撮像装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-310267   Applicant：松下電子工業株式会社
  • 固体撮像装置とその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-306388   Applicant：松下電器産業株式会社
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