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J-GLOBAL ID：200903017198704836

固体撮像装置とその製造方法

Inventor：
栗山 俊寛

About 栗山 俊寛


Applicant, Patent owner：
松下電器産業株式会社

About 松下電器産業株式会社


Agent (1)： 小笠原 史朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005306388
Publication number (International publication number)：2006108693
Application date： Oct. 20, 2005
Publication date： Apr. 20, 2006
Summary：
【課題】ゲート電極の動作を遅延させることなく、かつ斜光がフォトダイオードに入射することを防止できる固体撮像装置を提供する。【解決手段】受光素子54は、半導体基板51に規定された受光領域において、等間隔にマトリクス状に形成され、受光可能な領域である受光部を含み、複数の読出し電極53は、複数の受光素子54に対応して半導体基板51上に設けられ、各当該受光素子54が発生した電荷を読出し、複数の配線57は、複数の読出し電極53を覆い、かつ読出し電極53に電圧を印加し、複数の反射壁62は、各受光素子54のそれぞれの間を仕切るように配線57の上の領域に格子状に形成され、半導体基板51に対して上方から入射してくる光の一部を、各受光素子54の受光部に反射している。そして、複数の反射壁62は、複数の配線57と電気的に絶縁されている。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
半導体基板と、前記半導体基板に設けた受光領域と、前記受光領域に設けた複数の受光素子と、複数の前記受光素子に対応して前記半導体基板上に設けられ前記受光素子が発生した電荷を読出す複数の電極と、複数の前記電極の上に電圧を印加する配線と、前記配線の開口形状からなり前記受光素子に入射光を到達させる複数の開口部と、前記配線および前記開口部の上に設けた絶縁膜と、前記配線および前記開口部の上にあり前記開口部を挟んで互いに対向する反射壁とを備え、 前記絶縁膜は前記開口部上を平坦化して前記絶縁膜の上に複数のマイクロレンズを設けると共に、前記絶縁膜の一部が前記反射壁と前記配線の間にあることを特徴とする、固体撮像装置。
IPC (2)：
H01L 27/14 ,  H04N 5/335
FI (3)：
H01L27/14 D ,  H04N5/335 U ,  H04N5/335 F
F-Term (24)：
4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA13 ,  4M118CA02 ,  4M118CA03 ,  4M118CA32 ,  4M118FA06 ,  4M118FA35 ,  4M118GB08 ,  4M118GB11 ,  4M118GB15 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD14 ,  4M118GD15 ,  5C024CX35 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024GX07 ,  5C024GY04 ,  5C024GZ36
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
  • 固体撮像素子
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-249471   Applicant：ソニー株式会社
  • 固体撮像装置の製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-341333   Applicant：ソニー株式会社
  • 固体撮像装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-147246   Applicant：日本電気株式会社
Cited by examiner (7)
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