荷電粒子線装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：田中隆秀 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995285199
Publication number (International publication number)：1997129167
Application date： Nov. 01, 1995
Publication date： May. 16, 1997
Summary：

【要約】【目的】試料に対する精密作業を行う荷電粒子線装置の振動を、簡素な構成で効率良く防止すること。【構成】架台3とベースプレート10との間に配置されて、架台3に対するベースプレート10の相対的位置を水平な直交する2軸X,Yと平行な2方向にそれぞれ強制的に移動させる力を発生するとともに、前記2方向の力の作用線が前記精密作業用可動部材14の重心位置のXY座標を通るように設定されたアクチュエータ15,16と、固定部材振動検出手段(S1+21+22)の検出信号Xa,Yaおよび可動部材振動検出手段(S2+23+24)の検出信号Xb,Ybに基づいて前記ベースプレート10の振動を抑制するように前記アクチュエータ15,16を作動させる振動抑制信号Cx,Cyを出力する振動抑制信号出力手段29と、振動抑制信号Cx,Cyに基づいて前記アクチュエータ15,16を作動させるアクチュエータ駆動装置30を備えた荷電粒子線装置。

Claim (excerpt)：

下記の要件を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置、(Y01)固定された床および床に固定支持された架台を有する固定部材、(Y02)前記架台に水平方向および鉛直方向の振動を吸収する振動吸収手段を介して水平に支持されたベースプレートと、このベースプレートに支持された試料保持装置およびその試料保持装置に保持された試料に対する精密作業を行う精密作業機器とを有する精密作業用可動部材、(Y03)前記架台と前記ベースプレートとの間に配置されて、架台に対するベースプレートの相対的位置を水平な直交する2軸X,Yと平行な2方向にそれぞれ強制的に移動させる力を発生するとともに、前記2方向の力の作用線が前記精密作業用可動部材の重心位置のXY座標を通るように設定されたアクチュエータ、(Y04)前記固定部材の前記直交する2方向の振動をそれぞれ検出する固定部材振動検出手段、(Y05)前記精密作業用可動部材の前記直交する2方向の振動をそれぞれ検出する可動部材振動検出手段、(Y06)前記固定部材振動検出手段の検出信号および可動部材振動検出手段の検出信号に基づいて前記ベースプレートの振動を抑制するように前記アクチュエータを作動させる振動抑制信号を出力する振動抑制信号出力手段。(Y07)前記振動抑制信号に基づいて前記アクチュエータを作動させるアクチュエータ駆動装置。

IPC (5)：

H01J 37/16 , F16F 15/02 , F16F 15/03 , G01N 1/28 , G01N 37/00

FI (5)：

H01J 37/16 , F16F 15/02 A , F16F 15/03 C , G01N 37/00 H , G01N 1/28 W

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (8)

能動除振装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-154148 Applicant：キヤノン株式会社
防振装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-083577 Applicant：株式会社ニコン
防振台
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-243629 Applicant：ソニー株式会社

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