防振装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大森聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995083577
Publication number (International publication number)：1996166043
Application date： Apr. 10, 1995
Publication date： Jun. 25, 1996
Summary：

【要約】【目的】定盤等のベース部材の底面に配置された複数個の防振パッドのそれぞれからそのベース部材に作用する反力のバランスを所望の状態に維持する。【構成】床1上に第1組の上下動機構3A、防振パッド4A、加重センサ5A、第2組の上下動機構3B、防振パッド4B、加重センサ5B等を介して定盤6を設置し、定盤6上にウエハステージ20等を載置する。変位センサ10、及びレベルセンサ23で検出される定盤6の高さ、及び傾斜角に基づいて、且つ加重センサ5A,5Bにより検出される反力のバランスが所望の状態となるように上下動機構3A,3Bを介して防振パッド4A,4Bの高さを調整する。

Claim (excerpt)：

処理対象物が載置されるベース部材と、該ベース部材と設置面との間の互いに異なる位置に配置される3個以上の複数の防振パッドと、該複数の防振パッドのそれぞれに対する前記ベース部材からの荷重を検出する複数の荷重センサと、該複数の荷重センサの検出結果に応じて前記複数の防振パッドのそれぞれの高さを調整する複数の高さ調整手段と、を有することを特徴とする防振装置。

IPC (4)：

F16F 15/04 , F16F 15/02 , G05D 19/02 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

半能動型除振装置、半能動型ダンパ装置、半能動型剛性機構装置、縮小投影露光装置及びその半能動型除振方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-196993 Applicant：株式会社日立製作所
車両の振動低減装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-095671 Applicant：マツダ株式会社
ハイブリッド慣性形防振装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-213616 Applicant：三菱重工業株式会社

Show all

Return to Previous Page