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J-GLOBAL ID：200903070591341840
光学素子及び近接場発生装置並びに露光装置
鈴木 一平
, About 鈴木 一平
村上 善照
About 村上 善照
Applicant, Patent owner：
シャープ株式会社
About シャープ株式会社
Agent (1)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005302361
Publication number (International publication number)：2007114232
Application date： Oct. 17, 2005
Publication date： May. 10, 2007
Summary：
【課題】直線偏光の光を出射する光源を用いる場合に適した近接場の光増強が可能な光学素子及びそれを備えた近接場発生装置並びに露光装置を提供する。【解決手段】直線偏光光源10から照射される直線偏光によって、金属遮光膜12に形成された微小開口13a・13b・13cにて近接場を発生する光学素子2であって、金属遮光膜12には、微小開口13a・13b・13cから直線偏光の偏光方向に微小構造物14が設けられている。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
光学系から照射される直線偏光によって、金属膜に形成された光学的開口にて近接場を発生する光学素子であって、
上記金属膜には、上記光学的開口から上記直線偏光の偏光方向に凹部又は凸部が設けられていることを特徴とする光学素子。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (7)：
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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開口部と周期的に変化する表面形状を有する金属フィルムを利用する光伝送装置。
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-229231 Applicant：日本電気株式会社 -
近接場光を発生させる構造体、該構造体を有する近接場光ヘッド、該ヘッドを有する記録再生装置及び表面観察装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-323252 Applicant：キヤノン株式会社 -
光学素子、光モジュール並びにこれを用いた光ヘッド及び光記録/再生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-220338 Applicant：日本電気株式会社
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