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J-GLOBAL ID:200903070653160805

感活性エネルギー線樹脂組成物、感活性エネルギー線樹脂フィルム及び該フィルムを用いるパターン形成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 吉武 賢次 ,  中村 行孝 ,  紺野 昭男 ,  横田 修孝
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006285056
Publication number (International publication number):2007025723
Application date: Oct. 19, 2006
Publication date: Feb. 01, 2007
Summary:
【課題】中性水で現像可能な感活性エネルギー線樹脂組成物を提供する。【解決手段】水溶性樹脂の水溶液中に水に不溶性又は難溶性の活性エネルギー線の作用により酸を発生する酸発生剤を微粉状で分散させた分散液に、酸の作用により当該水溶性樹脂を不溶化させる酸反応性不溶化剤を溶解又は分散させることを特徴とする感活性エネルギー線樹脂組成物。【選択図】なし
Claim (excerpt):
水溶性樹脂の水溶液中に水に不溶性又は難溶性の活性エネルギー線の作用により酸を発生する酸発生剤を微粉状で分散させた分散液に、酸の作用により当該水溶性樹脂を不溶化させる酸反応性不溶化剤を溶解又は分散させることを特徴とする感活性エネルギー線樹脂組成物。
IPC (5):
G03F 7/027 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/00
FI (5):
G03F7/027 504 ,  G03F7/038 503 ,  G03F7/029 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/00 501
F-Term (26):
2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AB06 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC09 ,  2H025BC13 ,  2H025BC23 ,  2H025BD03 ,  2H025BD46 ,  2H025BD53 ,  2H025BE00 ,  2H025BJ03 ,  2H025CA48 ,  2H025CB03 ,  2H025CB04 ,  2H025CB07 ,  2H025CC17 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H096AA19 ,  2H096BA06 ,  2H096EA02 ,  2H096FA01 ,  2H096GA08 ,  2H096JA03
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (9)
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