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J-GLOBAL ID:200903070670435850
紫外線硬化型粘着シ-ト
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
後藤 幸久
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999074746
Publication number (International publication number):2000104026
Application date: Mar. 19, 1999
Publication date: Apr. 11, 2000
Summary:
【要約】【課題】 ウエハ貼付待機時において周辺環境からの微量紫外線暴露によって紫外線硬化性粘着剤が反応することがなく、ウエハ貼付時に良好な粘着特性のまま使用するできる半導体保護用粘着シート及び半導体ウエハ固定用シート等として有用な紫外線硬化型粘着シートを得る。【解決手段】 紫外線硬化型粘着シートは、基材フィルムの少なくとも片面に紫外線硬化型粘着剤層を設け、さらに該粘着剤層の表面にセパレータを貼付してなる紫外線硬化型粘着シートであって、該セパレータの波長300〜400nmにおける紫外線透過率が65%以下であることを特徴とする。前記紫外線吸収率を65%以下にする方法には、例えば、セパレータを構成するフィルムの粘着剤層貼付面の反対面に紫外線吸収剤を含む層を設ける方法、該フィルム中に紫外線吸収剤を含有させる方法などが含まれる。
Claim (excerpt):
基材フィルムの少なくとも片面に紫外線硬化型粘着剤層を設け、さらに該粘着剤層の表面にセパレータを貼付してなる紫外線硬化型粘着シートであって、該セパレータの波長300〜400nmにおける紫外線透過率が65%以下であることを特徴とする紫外線硬化型粘着シート。
IPC (3):
C09J 7/02
, H01L 21/301
, C09J 9/00
FI (3):
C09J 7/02 Z
, C09J 9/00
, H01L 21/78 M
F-Term (10):
4J004AA10
, 4J004AB07
, 4J004CA03
, 4J004CA04
, 4J004CA05
, 4J004CA06
, 4J004CB03
, 4J004CC03
, 4J004FA04
, 4J004FA05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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レジスト除去用接着シ-ト類とレジスト除去方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-125645
Applicant:日東電工株式会社
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飛散防止・省エネフィルム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-258109
Applicant:大日本印刷株式会社
-
ガラス板用粘着シート
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-034993
Applicant:積水化学工業株式会社
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