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J-GLOBAL ID：200903070773983040

薄膜積層体

Inventor：
阿部 能之

About 阿部 能之


Applicant, Patent owner：
住友金属鉱山株式会社

About 住友金属鉱山株式会社


Agent (2)： 鴨田 朝雄 ,  鴨田 哲彰
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002211678
Publication number (International publication number)：2004050643
Application date： Jul. 19, 2002
Publication date： Feb. 19, 2004
Summary：
【課題】粒界の存在に伴う拡散染みだしや腐食が防止でき、膜厚70〜150nmでも1〜5Ω/□のシート抵抗を有し、表面平滑性に優れ、透明性に優れ、高精細もしくは大型のLCDや、プラズマディスプレイ、有機EL用透明電極として有用な薄膜積層体を提供する。【解決手段】金属系導電薄膜層と酸化物系透明導電薄膜層の2層、または酸化物系透明導電薄膜層が金属系導電薄膜層の両側に設けられた3層からなり、酸化物系透明導電薄膜層として、タングステン、シリコン、ゲルマニウムから選ばれた1種以上が含有される非晶質の酸化インジウムが積層される。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
金属系導電薄膜層と酸化物系透明導電薄膜層との2層、または金属系導電薄膜層の両側に酸化物系透明導電薄膜層が設けられた3層からなる薄膜積層体において、酸化物系透明導電薄膜層として、タングステン、シリコン、ゲルマニウムから選ばれた1種以上が含有される非晶質酸化インジウムが積層されていることを特徴とする薄膜積層体。
IPC (7)：
B32B15/04 ,  B32B9/00 ,  C01G15/00 ,  G02B1/10 ,  G02B5/22 ,  G02F1/1343 ,  H01B5/14
FI (7)：
B32B15/04 Z ,  B32B9/00 A ,  C01G15/00 B ,  G02B5/22 ,  G02F1/1343 ,  H01B5/14 A ,  G02B1/10 Z
F-Term (55)：
2H048CA05 ,  2H048CA09 ,  2H048CA17 ,  2H048CA19 ,  2H048CA29 ,  2H092GA11 ,  2H092HA03 ,  2H092HA04 ,  2H092MA05 ,  2H092NA19 ,  2H092NA25 ,  2K009BB02 ,  2K009BB04 ,  2K009BB11 ,  2K009CC03 ,  2K009CC12 ,  2K009CC14 ,  2K009DD03 ,  2K009EE03 ,  4F100AA17B ,  4F100AA17C ,  4F100AB01A ,  4F100AB11 ,  4F100AB24A ,  4F100AB25A ,  4F100AB31A ,  4F100AT00D ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100BA04 ,  4F100BA06 ,  4F100BA10B ,  4F100BA10C ,  4F100DD07 ,  4F100GB41 ,  4F100JA12B ,  4F100JB02 ,  4F100JG01A ,  4F100JG01B ,  4F100JG01C ,  4F100JG04 ,  4F100JK15 ,  4F100JM02A ,  4F100JM02B ,  4F100JM02C ,  4F100JN01B ,  4F100JN01C ,  4F100JN01D ,  5C040GC06 ,  5C040GC18 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FB02 ,  5G307FC09 ,  5G307FC10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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