加工性に優れた透明導電膜

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：明田莞
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998133350
Publication number (International publication number)：1999323531
Application date： May. 15, 1998
Publication date： Nov. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】低電気抵抗率及び高可視光透過率を有すると共に、エッチングが容易で加工性に優れた透明導電膜を提供する。【解決手段】 Inの酸化物を主成分とする透明導電膜であって、Geを含有して膜の構造が非晶質であることを特徴とするもの。

Claim (excerpt)：

Inの酸化物を主成分とする透明導電膜であって、Geを含有して膜の構造が非晶質であることを特徴とする加工性に優れた透明導電膜。

IPC (3)：

C23C 14/08 , G02F 1/1343 , H01B 5/14

FI (3)：

C23C 14/08 D , G02F 1/1343 , H01B 5/14 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

導電性透明基材およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-132030 Applicant：出光興産株式会社
導電性透明基材およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-315075 Applicant：出光興産株式会社
ITOスパツタリングタ-ゲツト及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-289191 Applicant：株式会社日鉱共石

Show all

Return to Previous Page