焦電型赤外線検出素子及びその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小鍜治明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993207663
Publication number (International publication number)：1995055577
Application date： Aug. 23, 1993
Publication date： Mar. 03, 1995
Summary：

【要約】【目的】本発明は、焦電体を用いて赤外線を検出する焦電型赤外線検出素子に関するもので、熱容量が小さく熱応答性に優れ、低コスト、小型化そして集積化が可能で生産性に優れた信頼性の高い焦電型赤外線検出素子を提供することを目的とする。【構成】基板11として(100)MgO単結晶基板を用い、その上層に電極12aとして200nm程度の膜厚を有するPt薄膜を設け、その上層に、焦電薄膜13としてPbTiO3やPb1-xLaxTi1-x/4O3等の焦電材料からなる薄膜を設け、さらにそれら上層の少なくとも一部に、電極12bとして赤外光の反射率の少ないNiCr薄膜を設ける。その後、焦電薄膜群と同一基板表面上からエッチング用マスクを介して微小空洞14を形成する構成である。

Claim (excerpt)：

少なくとも単結晶からなる基板と、前記基板上に第一の電極を有し、前記第一の電極上に焦電薄膜を有し、前記焦電薄膜上に赤外線吸収効果を有する第二の電極を有した赤外線検出部とからなり、前記赤外線検出部が接する前記基板の表層部に空洞を有した焦電型赤外線検出素子。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開昭62-252006
赤外線検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-252302 Applicant：浜松ホトニクス株式会社
特開昭61-100621

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