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J-GLOBAL ID：200903070949065077
窒化物単結晶及びその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山本 正緒
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997094078
Publication number (International publication number)：1998053495
Application date： Apr. 11, 1997
Publication date： Feb. 24, 1998
Summary：
【要約】【課題】 良質で実用特性を満たすことができ、バルク素材として十分実用に供し得る大きさの窒化物単結晶、及びその簡単で効率的な製造方法を提供する。【解決手段】 窒化物の粉末と酸化物の粉末の混合粉末、又はアモルファス窒化物の粉末を原料粉末7とし、窒素雰囲気中において該窒化物の昇華温度又は溶融温度よりも低い温度で加熱することにより前記窒化物の粉末を分解気化せしめ、分解気化成分を気相から基板8上に結晶成長させる。不純物が少なく、例えば長さ及び幅共に10mm以上且つ厚み300μm以上、又は長さ20mm以上且つ直径10μm以上の大型の窒化物単結晶が、短時間で得られる。
Claim (excerpt)：
長さ及び幅が共に10mm以上且つ厚みが300μm以上、又は長さが20mm以上且つ直径が10μm以上であることを特徴とする窒化物単結晶。
IPC (2)：
FI (5)：
C30B 29/38 C
, C30B 29/38 A
, C30B 29/38 D
, C30B 29/38 Z
, C30B 23/00
