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J-GLOBAL ID：200903070973441799

ペースト塗布機

Inventor：
川隅 幸宏

About 川隅 幸宏

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米田 福男

About 米田 福男

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石田 茂

About 石田 茂

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松井 淳一

About 松井 淳一


Applicant, Patent owner：
日立テクノエンジニアリング株式会社

About 日立テクノエンジニアリング株式会社


Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999272793
Publication number (International publication number)：2001087693
Application date： Sep. 27, 1999
Publication date： Apr. 03, 2001
Summary：
【要約】【課題】 基板上の所望の位置にペーストパターンを高精度に形成する。【解決手段】 いま、プラズマディスプレイパネルの基板上のリブ間に蛍光体ペーストを塗布するものとして、塗布ヘッド7のノズルホルダ21にR,G,Bのシリンジ16R,19G,16Bが設けられており、ノズルホルダ21の下面に、R,G,Bのノズル(図3)が設けられている。また、ノズルセンサベース22には、かかるノズルに対して先行した位置関係にある先行センサ23が、また、かかるノズルに対して後行した位置関係にある後行センサ24が夫々設けられており、先行センサ23が基板のリブ間の表面とノズル先端までの距離を計測し、また、後行センサ24は、リブ間の塗布されたペーストまでの距離とともに、リブ間でのノズル先端の位置を計測する。これらセンサの計測結果に基づいて、ノズルの高さ位置が制御され、また、ノズルをリブ間に沿って移動させる。
Claim (excerpt)：
テ-ブル上に載置した基板にノズルのペースト吐出口を対向させ、該基板の主面に垂直な方向での該ペースト吐出口と該基板との間の距離を任意に持たせ、該ペースト吐出口から該基板上にペーストを吐出させながら、該基板の主面と平行な方向での該基板と該ノズルとの間の相対位置関係を変化させることにより、該基板上に所望形状のペーストパタ-ンを塗布するペースト塗布機において、該基板の主面に垂直な方向での該ペースト吐出口と該基板との間の距離の計測を行なう第1のセンサと、該基板の主面に平行な方向での該基板と該ノズルとの間の相対位置関係の変化方向と直交する方向での該基板上の距離の計測を行なう第2のセンサとを備え、該基板の主面と平行な方向での該基板と該ノズルとの間の相対位置関係を変化させる際の該ノズルに先行するセンサは、少なくとも、該基板の主面に垂直な方向での該ペースト吐出口と該基板との間の距離の計測を行なう該第1のセンサであり、該第1,第2のセンサの検出結果に基いて、該基板の主面に垂直な方向及び該基板の主面と平行な方向での該基板と該ノズルとの間の相対位置関係の変化の方向と直交する方向での該ノズルの位置決めをするようにしたことを特徴とするペースト塗布機。
IPC (3)：
B05C 5/00 101 ,  H01J 9/227 ,  H01J 11/02
FI (3)：
B05C 5/00 101 ,  H01J 9/227 E ,  H01J 11/02 B
F-Term (14)：
4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA05 ,  4F041BA22 ,  4F041BA56 ,  5C028FF16 ,  5C028HH14 ,  5C040FA01 ,  5C040FA02 ,  5C040GA03 ,  5C040GG09 ,  5C040JA13 ,  5C040MA23 ,  5C040MA24
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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