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J-GLOBAL ID：200903071121261367

液体吐出ヘッドの製造方法

Inventor：
野津 智史

About 野津 智史

, 
長谷川 研二

About 長谷川 研二


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003416004
Publication number (International publication number)：2005169965
Application date： Dec. 15, 2003
Publication date： Jun. 30, 2005
Summary：
【課題】転写基板上に積層された圧電素子および振動板を、流路基板上に金属結合によって低温で転写する。【解決手段】転写基板11上に、下電極14、圧電膜13、上電極12からなる圧電素子層と、振動板15、金属層17を積層して第1の積層体10を製作する。流路24を形成した流路基板21上の金属層23に、転写基板11上の金属層17を重ねて、2つの積層体10、20を金属同士の圧着結合によって接合したうえで、転写基板11をエッチングによって除去する。金属同士の圧着結合を200°C以下で行うことによって、圧電膜13や振動板15に与える影響を抑える。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
圧電駆動力によって流路の液体を加圧しノズルから吐出する液体吐出ヘッドの製造方法であって、 第1の基板に圧電膜を有する圧電素子層と振動板と金属層を積層し、圧電素子積層体を作成する工程と、 流路を形成する第2の基板に金属層を積層した流路構造体を作成する工程と、 圧電素子積層体の金属層と流路構造体の金属層を金属同士の圧着結合によって接合する工程と、 圧電素子積層体から第1の基板を除去する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
IPC (3)：
B41J2/16 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055
FI (2)：
B41J3/04 103H ,  B41J3/04 103A
F-Term (7)：
2C057AF93 ,  2C057AP16 ,  2C057AP26 ,  2C057AP31 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA13
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)

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