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J-GLOBAL ID：200903071385187653
液晶表示装置、及びその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
外川 英明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996005336
Publication number (International publication number)：1997197435
Application date： Jan. 17, 1996
Publication date： Jul. 31, 1997
Summary：
【要約】【課題】 液晶表示装置の薄膜トランジスタにおいて、導電膜をパターニングしたときのテーパー形状を、低コスト且つ生産性を下げずに、歩留まり良く形成することを目的とする。【解決手段】 薄膜トランジスタを構成している導電膜が下層より上層の方が粗になっている。また製造方法は、導電膜を形成する際に上層部の成膜速度を速くする。
Claim (excerpt)：
一対の基板に液晶が挟持され、前記一対の基板の少なくとも一方の基板に形成され、端部にテーパー形状を有する導電膜を含み、前記液晶に印加される電圧のスイッチングを行う薄膜トランジスタを備えた液晶表示装置において、前記導電膜は、第1層と、前記第1層と同一材質で、前記第1層より前記液晶側に配置され、前記第1層よりエッチング速度が速い第2層と、を含むことを特徴とする液晶表示装置。
IPC (3)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/1343
, H01L 29/786
G02F 1/136 500
, G02F 1/1343
, H01L 29/78 616 T
, H01L 29/78 617 K
