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J-GLOBAL ID:200903071534119828

感光性ペースト

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996211291
Publication number (International publication number):1998053433
Application date: Aug. 09, 1996
Publication date: Feb. 24, 1998
Summary:
【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを安定して提供することができる。【解決手段】無機微粒子と感光性有機成分とアミン化合物を含有する化合物を含むことを特徴とする感光性ペースト。
Claim (excerpt):
アミン化合物、感光性有機成分、無機微粒子を必須成分とする感光性ペースト。
IPC (6):
C03C 3/064 ,  C03C 3/091 ,  C23C 30/00 ,  G03F 7/004 501 ,  H01J 9/02 ,  H01J 17/16
FI (6):
C03C 3/064 ,  C03C 3/091 ,  C23C 30/00 C ,  G03F 7/004 501 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 17/16
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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