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J-GLOBAL ID:200903056671374712
感光性ペースト組成物及び絶縁パターン層の形成方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
服部 平八
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996055318
Publication number (International publication number):1997230587
Application date: Feb. 20, 1996
Publication date: Sep. 05, 1997
Summary:
【要約】【課題】分散性、塗膜性及び長期保存安定性の優れた感光性ペースト組成物及びそれを用いた絶縁パターン層の形成方法を提供すること。【解決手段】(a)アルカリ可溶性高分子バインダー、(b)光重合性モノマー、(c)光重合開始剤、(d)無機化合物粒子(e)有機チタン化合物及び/又は有機ケイ素化合物、及び(f)有機溶媒を含有することを特徴とする感光性ペースト組成物、及び前記感光性ペースト組成物を回路等を形成した基板に塗布し、露光、焼成して絶縁パターン層を形成する方法。
Claim (excerpt):
(a)アルカリ可溶性高分子バインダー、(b)光重合性モノマー、(c)光重合開始剤、(d)無機化合物粒子(e)有機チタン化合物及び/又は有機ケイ素化合物、及び(f)有機溶媒を含有することを特徴とする感光性ペースト組成物。
IPC (6):
G03F 7/004 501
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/40 501
, H01L 21/312
, H05K 3/46
FI (6):
G03F 7/004 501
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/40 501
, H01L 21/312 D
, H05K 3/46 T
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (12)
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Application number:特願平6-082681
Applicant:大日本印刷株式会社
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Application number:特願平4-337312
Applicant:三井東圧化学株式会社
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Application number:特願平5-353690
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Application number:特願平5-132188
Applicant:東京応化工業株式会社
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特開昭57-049105
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Application number:特願平7-126178
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Application number:特願平3-275341
Applicant:株式会社日立製作所
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Application number:特願平4-009802
Applicant:株式会社日立製作所
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Application number:特願平6-252946
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