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J-GLOBAL ID：200903071665181030

露光装置

Inventor：
小林 直行

About 小林 直行


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995098160
Publication number (International publication number)：1996293449
Application date： Apr. 24, 1995
Publication date： Nov. 05, 1996
Summary：
【要約】【目的】 露光装置の発熱体から発生する熱を除去するための冷却機構のスペースを小さくし、他の機器に影響を与えることなく発生熱を局所的に効率よく除去する。【構成】 X軸ステージ14をX方向に駆動するリニヤモータ20の可動子20Bと、ウエハ3を載置する試料台15をZ方向及びチルト方向に移動するためのZチルト駆動機構18A,18Bとが固定されたX軸ステージ14上にヒートポンプ22を設置する。ヒートポンプ22の上に固定された熱交換器21に外部の温調装置24から給水パイプ23A及び排水パイプ23Bを介して冷却水を循環させ、可動子20B及びZチルト駆動機構18A,18Bから発生してX軸ステージ14を介してヒートポンプ22に吸収された熱を冷却する。
Claim (excerpt)：
感光基板にマスクパターンを転写する露光装置において、前記露光装置内の発熱体の近傍に配置され、前記発熱体の熱を吸収するヒートポンプと、該ヒートポンプにより吸収された熱を装置の外部に排出する排出手段と、を設けたことを特徴とする露光装置。
IPC (2)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (3)：
H01L 21/30 516 E ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 H
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
  • 特開平4-184912
  • 特開平4-085918
  • 縮小投影露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-075287   Applicant：新日本製鐵株式会社
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