感光性樹脂組成物の硬化方法

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995307948
Publication number (International publication number)：1997146273
Application date： Nov. 27, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】硬化後の膜の着色を著しく低減する硬化方法を提供するものである。【解決手段】ポリベンゾオキサゾール前駆体とジアゾキノンからなる感光性樹脂を露光、現像してパターンを作製した後、更に全面露光して硬化させる感光性樹脂組成物の硬化方法。

Claim (excerpt)：

ポリベンゾオキサゾール前駆体とジアゾキノンからなる感光性樹脂組成物を露光、現像しパターンを作成した後、更に全面露光し硬化することを特徴とする感光性樹脂組成物の硬化方法。

IPC (4)：

G03F 7/037 , C08G 73/22 NTR , G03F 7/022 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/037 , C08G 73/22 NTR , G03F 7/022 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (15)

特開平4-031860
特開平4-031860
特開平3-087745

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